技術(shù)編號(hào)：6007706
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種檢測(cè)方法，特別是一種采用脈沖反射式檢測(cè)的坩堝內(nèi)部缺陷的檢測(cè)方法。背景技術(shù)高純度石英坩堝是生產(chǎn)硅單晶體所必需的石英容器。在硅單晶拉制生產(chǎn)過程中， 將使用石英坩堝作為熔融高純硅的載體，由拉制桿從石英坩堝內(nèi)熔融液體中，遂步拉制由硅的單晶體，在整個(gè)生產(chǎn)過程中，對(duì)石英坩堝的純度和缺陷控制提出了非常高的要求，目前國內(nèi)外的控制水平還采用初步的人工檢測(cè)，對(duì)坩堝內(nèi)表面的氣泡、黑點(diǎn)等通過檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)來控制。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種采用脈沖反射式檢測(cè)，通過檢測(cè)信...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。