技術(shù)編號(hào)：6004956
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，具體地涉及壓力傳感器襯底以及用于提供壓力傳感器襯底的方法。背景技術(shù)壓力傳感器典型地用于測(cè)量液體或氣體的壓力并提供隨介質(zhì)壓力變化的輸出信號(hào)。傳統(tǒng)的壓力傳感器包括用MEMS技術(shù)(微機(jī)電結(jié)構(gòu))制作的耦合到ASIC的獨(dú)立壓力傳感器膜片(membrane)。那些膜片典型地水平創(chuàng)建于晶片的表面上，這意味著復(fù)雜的制作方法，原因在于需要多個(gè)過(guò)程步驟以便在半導(dǎo)體襯底的頂部創(chuàng)建自由膜片。一般而言，創(chuàng)建穿過(guò)膜片的通氣體積是一項(xiàng)復(fù)雜的工作。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)這里描述的一些方...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。