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Led翹曲芯片厚度自動(dòng)量測(cè)系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5984352

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本實(shí)用新型涉及ー種量測(cè)系統(tǒng),具體涉及ー種量測(cè)LED翹曲芯片厚度的自動(dòng)量測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)目前,在對(duì)LED芯片研磨后厚度進(jìn)行控制時(shí),仍采用傳統(tǒng)人工手動(dòng)量測(cè)方式紀(jì)錄。其不足在于1.量測(cè)結(jié)果受到薄化后芯片翹曲狀態(tài)的影響而導(dǎo)致量測(cè)不準(zhǔn)確。具體原因是,薄化后芯片可能因高亮度需求,受外延制程影響呈現(xiàn)翹曲狀,翹曲處包含空氣,特別是對(duì)追求精度為lum,實(shí)際厚度多為8(T200um LED芯片,具有明顯的干擾。2.若施力壓平后量測(cè),雖可避免空氣造成的變異,但往往卻會(huì)造成芯片破...
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