技術(shù)編號:5969268
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種平膜硅壓阻式壓力傳感器。背景技術(shù)平膜硅壓阻式壓力傳感器作為自動化儀表和電子控制系統(tǒng)的重要部件,廣泛應(yīng)用于食品、醫(yī)藥、釀酒等衛(wèi)生型行業(yè)及測量介質(zhì)可能結(jié)垢的場合。傳統(tǒng)的平膜硅壓阻式壓力傳感器采用一體化結(jié)構(gòu),油路管徑設(shè)計寬且長,加工難,充油腔體體積大,充注的硅油體積也大,壓力傳遞失真大,受溫度影響大,而且傳感器的量程不能做到很大。實用新型內(nèi)容本實用新型目的是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷提供一種平膜硅壓阻式壓力傳感器。本實用新型為實現(xiàn)上述目的,采用如下...
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