技術(shù)編號：595344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及下列 <1>一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其包含 樹脂，所述樹脂包含具有酸-不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元 其中R1表示氫原子或甲基，環(huán)X表示C3-C30環(huán)烴基，其中一個-CH2-被-COO-取代，并且所述C3-C30環(huán)烴基中的至少一個氫原子可以被取代，并且p表示1至4的整數(shù)，并且所述樹脂本身不溶于或難溶于堿性水溶液，但是通過酸的作用變得可溶于堿性水溶液，和 選自由式(II)表示的鹽和由式...
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