技術編號：5935743
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種濺鍍靶材檢測機構，特別地涉及一種可通用于圓筒形靶材、平面靶材或異型靶材進行靶材內(nèi)部缺陷、焊合缺陷等檢測工作的濺鍍靶材檢測機構設計。背景技術在半導體產(chǎn)品的制程中，為了在基材上形成預定材料的膜層，經(jīng)常通過濺鍍裝置利用離子化的氣體(電漿)沖擊濺鍍靶材而釋放出預定的粒子，使粒子附著于基材表面而形成所期望的該膜層。 為了避免因濺鍍靶材中的缺陷影響濺鍍制造制程，所述濺鍍靶材通常通過濺鍍靶材檢測機構進行靶材內(nèi)部缺陷檢測、焊合缺陷檢測等，進而從中篩選出不...
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