專利名稱：濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，特別地涉及一種可通用于圓筒形靶材、平面靶材或異型靶材進(jìn)行靶材內(nèi)部缺陷、焊合缺陷等檢測(cè)工作的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制程中，為了在基材上形成預(yù)定材料的膜層，經(jīng)常通過濺鍍裝置利用離子化的氣體(電漿)沖擊濺鍍靶材而釋放出預(yù)定的粒子，使粒子附著于基材表面而形成所期望的該膜層。 為了避免因?yàn)R鍍靶材中的缺陷影響濺鍍制造制程，所述濺鍍靶材通常通過濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行靶材內(nèi)部缺陷檢測(cè)、焊合缺陷檢測(cè)等，進(jìn)而從中篩選出不良的濺鍍靶材。在現(xiàn)有濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)中，超音波檢測(cè)方式是濺鍍靶材進(jìn)行非破壞性的已知技術(shù)中的一種。由于濺鍍靶材包括有平面型靶材、圓筒型靶材或異型靶材等多種型式，基于各型式靶材的形狀差異，濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)各設(shè)計(jì)專用的機(jī)構(gòu)以適用各類型的靶材。如中國臺(tái)灣專利在2010年9月16日公開第201033607號(hào)實(shí)用新型專利申請(qǐng)案公開一種專用于“圓筒狀濺鍍靶材”的“超音波探傷裝置”，其主要是在可裝填液體的液體槽中將圓筒形濺鍍靶材組設(shè)其中，且浸置于液體內(nèi)，在該濺鍍靶材的軸兩端各設(shè)有齒輪，并以齒輪嚙合于液體槽底部的齒條上，通過動(dòng)力傳送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)濺鍍靶材旋轉(zhuǎn)，另外，在液體槽上方裝設(shè)探測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用以帶動(dòng)探測(cè)器X方向與Y方向移動(dòng)，如此，在探測(cè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下，利用探測(cè)器對(duì)圓筒形濺鍍靶材頂緣進(jìn)行超音波檢測(cè)后，接著由動(dòng)力傳送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)濺鍍材旋轉(zhuǎn)一定角度，再由探測(cè)器對(duì)濺鍍靶材另一角度區(qū)段進(jìn)行超音波檢測(cè)，如此進(jìn)行，直至該圓筒形濺鍍靶材全面性完成檢測(cè)作業(yè)。但是，超音波探傷裝置雖可提供一種濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，然而，該超音波探傷裝置的設(shè)計(jì)又僅是適用于圓筒型濺鍍靶材，不適用于平面形濺鍍靶材，因此，現(xiàn)有濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)皆存在有無法通用于各類型(平面型、圓筒形、異型等)濺鍍靶材的問題，以致業(yè)者為能進(jìn)行各式濺鍍靶材的檢測(cè)作業(yè)，就必須購置多部不同類型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，而導(dǎo)致設(shè)備成本高的問題。由此可見，上述現(xiàn)有的超音波探傷裝置在使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決超音波探傷裝置存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。有鑒于上述現(xiàn)有的超音波探傷裝置存在的缺陷，本實(shí)用新型人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的超音波探傷裝置，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本實(shí)用新型。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的超音波探傷裝置存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其不僅適用于圓筒狀濺鍍靶材檢測(cè)作業(yè)，而且通用于各類型濺鍍靶材的檢測(cè)，從而更加適于實(shí)用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本實(shí)用新型提出的一種濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其包括液體儲(chǔ)槽； 移動(dòng)式超音波檢測(cè)機(jī)組，其包括移動(dòng)裝置以及超音波檢測(cè)組件，所述移動(dòng)裝置于液體儲(chǔ)槽上，且組接所述超音波檢測(cè)組件，用以驅(qū)動(dòng)超音波檢測(cè)組件作三維空間位移； 靶材移動(dòng)裝置，系包括多個(gè)滾軸以及一滾軸驅(qū)動(dòng)組件，該多個(gè)滾軸并列樞設(shè)于液體儲(chǔ)槽中，滾軸驅(qū)動(dòng)組件連接該多個(gè)滾軸，用以驅(qū)動(dòng)該多個(gè)滾軸同向旋轉(zhuǎn)；以及控制器，其電連接移動(dòng)裝置與滾軸驅(qū)動(dòng)組件，用以控制移動(dòng)裝置與滾軸驅(qū)動(dòng)組件的工作。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述移動(dòng)裝置包括X軸向移動(dòng)組件、Y軸向移動(dòng)組件、Z軸向移動(dòng)組件以及移動(dòng)構(gòu)件；所述X軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述液體儲(chǔ)槽的槽壁上，所述X軸向移動(dòng)組件包括第一移動(dòng)構(gòu)件，以及用以驅(qū)動(dòng)所述第一移動(dòng)構(gòu)件沿X軸向移動(dòng)的X軸向驅(qū)動(dòng)器；所述Y軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述X軸向移動(dòng)組件的第一移動(dòng)構(gòu)件上，且可為X軸向移動(dòng)組件帶動(dòng)沿X軸向移動(dòng)，所述Y軸向移動(dòng)組件具有第二移動(dòng)構(gòu)件，以及用以驅(qū)動(dòng)所述第二移動(dòng)構(gòu)件沿Y軸向移動(dòng)的Y軸向驅(qū)動(dòng)器；所述Z軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述第二移動(dòng)構(gòu)件上，所述Z軸向移動(dòng)組件包括Z軸向驅(qū)動(dòng)器，所述Z軸向驅(qū)動(dòng)器與所述移動(dòng)構(gòu)件相連接；所述X軸向驅(qū)動(dòng)器、Y軸向驅(qū)動(dòng)器與Z軸向驅(qū)動(dòng)器電連接控制器；所述超音波檢測(cè)組件包括至少一個(gè)超音波檢測(cè)單元，所述超音波檢測(cè)單元設(shè)于所述移動(dòng)構(gòu)件上。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及輪系傳動(dòng)組，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)電連接控制器，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端結(jié)合輪系傳動(dòng)組連接該多個(gè)滾軸。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及輪系傳動(dòng)組，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)電連接控制器，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端結(jié)合輪系傳動(dòng)組連接該多個(gè)滾軸。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，該靶材移動(dòng)裝置包括主動(dòng)滾軸和從動(dòng)滾軸，所述輪系傳動(dòng)組為皮帶輪組，其包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪以及環(huán)狀皮帶，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端連接主動(dòng)滾軸的端部，所述主動(dòng)輪設(shè)于所述主動(dòng)滾軸上，所述從動(dòng)輪設(shè)于從動(dòng)滾軸上，所述環(huán)狀皮帶環(huán)繞于所述主動(dòng)輪與所述從動(dòng)輪上。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述靶材移動(dòng)裝置包括一調(diào)整組件，所述調(diào)整組件與從動(dòng)滾軸相連接，所述調(diào)整組件用以調(diào)整所述主動(dòng)滾軸與所述從動(dòng)滾軸間的相對(duì)位置。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述滾軸為復(fù)合式滾軸，其包括有軸桿以及多個(gè)外套環(huán)，該多個(gè)外套環(huán)套設(shè)于該軸桿上。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述滾軸為復(fù)合式滾軸，其包括有軸桿以及多個(gè)外套環(huán)，該多個(gè)外套環(huán)套設(shè)于該軸桿上。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括兩個(gè)承載架，該兩個(gè)承載架裝設(shè)于該液體儲(chǔ)槽內(nèi)部，且分位于該多個(gè)滾軸的外圍。前述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中，所述濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括兩個(gè)承載架，該兩個(gè)承載架是裝設(shè)于該液體儲(chǔ)槽內(nèi)部，且分位于該多個(gè)滾軸的外圍。借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)至少具有下列優(yōu)點(diǎn)通過濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，其主要是利用液體儲(chǔ)槽上裝設(shè)可三維空間移動(dòng)的移動(dòng)裝置，以帶動(dòng)超音波檢測(cè)組件位移，另液體儲(chǔ)槽中樞設(shè)多個(gè)并列的滾軸，該多個(gè)滾軸可承載待檢濺鍍靶材，使超音波檢測(cè)組件在其待檢濺鍍靶材上進(jìn)行檢測(cè)，另外該多個(gè)滾軸由滾軸驅(qū)動(dòng)組件所驅(qū)動(dòng)而同向旋轉(zhuǎn)，使圓筒型或異型濺鍍靶材可為滾軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，為超音波檢測(cè)組件進(jìn)行濺鍍靶材另一角度位置的檢測(cè)，如此，使該濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)可以一機(jī)適用于平面型、圓筒形或異型等多種不同類型的濺鍍靶材檢測(cè)作業(yè)。綜上所述，本實(shí)用新型特殊結(jié)構(gòu)的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，不僅適用于圓筒狀濺鍍靶材檢測(cè)作業(yè)，而且通用于各類型濺鍍靶材的檢測(cè)。其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的超音波探傷裝置具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。

圖I為本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)的一個(gè)較佳實(shí)施例的立體示意圖。圖2為圖I所示濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例之另一觀視角度立體示意圖。圖3為圖I所示濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例中之移動(dòng)裝置的Y軸向移動(dòng)組件的局部立體示意圖。圖4為圖I所示濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例中之移動(dòng)裝置的Z軸向移動(dòng)組件與移動(dòng)構(gòu)件的局部立體示意圖。圖5為圖I所示濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例的俯視平面示意圖。圖6為圖I所示濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例的側(cè)視平面示意圖。圖7為本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例中的靶材移動(dòng)裝置具有二個(gè)滾軸的較佳實(shí)施例與濺鍍靶材的立體示意圖。圖8為本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例中之靶材移動(dòng)裝置具有二滾軸較佳實(shí)施例與濺鍍靶材的另一觀視立體示意圖。圖9為本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)較佳實(shí)施例中之靶材移動(dòng)裝置具有三滾軸較佳實(shí)施例與濺鍍靶材的立體示意圖。[0042]圖10為本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)中之滾軸另一較佳實(shí)施例濺鍍靶材的立體示意圖。附圖標(biāo)記說明I、液體儲(chǔ)槽；2、移動(dòng)式超音波檢測(cè)機(jī)組；3、移動(dòng)裝置；4、超音波檢測(cè)組件；5、靶材移動(dòng)裝置；6、控制器；7、承載架；8、濺鍍靶材；30、X軸向移動(dòng)組件；31、Y軸向移動(dòng)組件；32、Z軸向移動(dòng)組件；33、移動(dòng)構(gòu)件；40、超音波檢測(cè)單元；50、滾軸；51、滾軸；53、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；54、輪系傳動(dòng)組；301、第一移動(dòng)構(gòu)件；302、X軸向驅(qū)動(dòng)器；311、第二移動(dòng)構(gòu)件；312、Y軸向驅(qū)動(dòng)器；321、Z軸向驅(qū)動(dòng)器；511、軸桿；512、外套環(huán)；541、主動(dòng)輪；542、從動(dòng)輪；543、環(huán)狀皮帶。
具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。如圖I及圖2所示，其示出了本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)的一個(gè)較佳實(shí)施例，該濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)系包括液體儲(chǔ)槽I、移動(dòng)式超音波檢測(cè)機(jī)組2、靶材移動(dòng)裝置5以及一控制器6，其中所述液體儲(chǔ)槽I用以提供液體注入其中，以及將待檢濺鍍靶材置放其中而浸置于液體內(nèi)，所述液體根據(jù)待檢濺鍍靶材的材料而選用合適的液體。如圖I及圖2所示,所述移動(dòng)式超音波檢測(cè)機(jī)組2系包括一移動(dòng)裝置3以及一超音波檢測(cè)組件4，其中，所述移動(dòng)裝置3是一組可三維空間移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，且裝設(shè)于液體儲(chǔ)槽I上；所述超音波檢測(cè)組件4系一組具備受控輸出超音波及接收反射的超音波等功能之組件，所述超音波檢測(cè)組件4設(shè)于移動(dòng)裝置3中，而可被驅(qū)動(dòng)作三維空間之移動(dòng)，用以對(duì)液體儲(chǔ)槽I中的待檢濺鍍靶材進(jìn)行檢測(cè)。如圖I至圖6所示，在本較佳實(shí)施例中，所述移動(dòng)裝置3系包括一 X軸向移動(dòng)組件30、一 Y軸向移動(dòng)組件31、一 Z軸向移動(dòng)組件32以及一移動(dòng)構(gòu)件33，所述X軸向移動(dòng)組件30設(shè)于液體儲(chǔ)槽I的槽壁上，X軸向移動(dòng)組件30具有一第一移動(dòng)構(gòu)件301以及一用以驅(qū)動(dòng)第一移動(dòng)構(gòu)件301沿X軸向移動(dòng)的X軸向驅(qū)動(dòng)器302，所述Y軸向移動(dòng)組件31設(shè)于X軸向移動(dòng)組件30的第一移動(dòng)構(gòu)件301上，且可為X軸向移動(dòng)組件帶動(dòng)沿X軸向移動(dòng)，所述Y軸向移動(dòng)組件31具有一第二移動(dòng)構(gòu)件311以及一用以驅(qū)動(dòng)第二移動(dòng)構(gòu)件311沿Y軸向移動(dòng)的Y軸向驅(qū)動(dòng)器312，Z軸向移動(dòng)組件32設(shè)于所述第二移動(dòng)構(gòu)件311上，所述Z軸向移動(dòng)組件32具有一 Z軸向驅(qū)動(dòng)器321，并連接所述的移動(dòng)構(gòu)件33，由此，結(jié)合X軸向移動(dòng)組件30、Y軸向移動(dòng)組件31與Z軸向移動(dòng)組件32，用以帶動(dòng)移動(dòng)構(gòu)件33作X軸向、Y軸向及Z軸向三維空間移動(dòng)，所述X軸向驅(qū)動(dòng)器、Y軸向驅(qū)動(dòng)器與Z軸向驅(qū)動(dòng)器電連接控制器，而由控制器6決定其作動(dòng)與停止的時(shí)機(jī)。所述超音波檢測(cè)組件4系設(shè)于所述移動(dòng)裝置3的移動(dòng)構(gòu)件33上，并可為移動(dòng)裝置3帶動(dòng)作X軸向、Y軸向及Z軸向三維空間移動(dòng)，所述超音波檢測(cè)組件4包括有至少一個(gè)超音波檢測(cè)單元40，且電連接控制器6，當(dāng)超音波檢測(cè)組件4包括多個(gè)個(gè)超音波檢測(cè)單元40時(shí)，該多個(gè)個(gè)超音波檢測(cè)單元40間隔排列于移動(dòng)構(gòu)件33上，用以對(duì)較大面積的待檢濺鍍靶材區(qū)分?jǐn)?shù)個(gè)區(qū)段同時(shí)進(jìn)行超音波檢測(cè)，所述超音波檢測(cè)單元40是包括可產(chǎn)生超音波的探測(cè)頭、提供探測(cè)頭能量的產(chǎn)生器、可擷取回波訊號(hào)的訊號(hào)擷取器以及一組用以傳動(dòng)能量的傳輸線，傳輸線電連接訊號(hào)擷取器、產(chǎn)生器與控制器6。如圖7、圖8及圖9所示，所述靶材移動(dòng)裝置5系包括多個(gè)滾軸50、51以及滾軸驅(qū)動(dòng)組件52，該多個(gè)滾軸50、51系平行于X軸向而并列樞設(shè)于液體儲(chǔ)槽I中，所述滾軸50、51外周面可套設(shè)橡膠包覆體，提供待檢濺鍍靶材的磨擦接觸面，另該多個(gè)滾軸50、51外周面的頂緣可位于同一水平高度，用以水平支撐平面型待檢濺鍍靶材，所述多個(gè)滾軸50、51的一端部密封防漏的穿出液體儲(chǔ)槽I外，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件52系連接該多個(gè)滾軸50、51，用以帶動(dòng)該多個(gè)滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件52包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53以及輪系傳動(dòng)組54，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53電連接控制器，所述輪系傳動(dòng)組54可為齒輪組或皮帶輪組等，且驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53的旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端結(jié)合輪系傳動(dòng)組54連接該多個(gè)滾軸50、51伸出液體儲(chǔ)槽I外的端部，使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53得以結(jié)合輪系傳動(dòng)組54帶動(dòng)該多個(gè)滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)。 在本實(shí)用新型示出的一個(gè)較佳實(shí)施例中，如圖7及圖8所示，該靶材移動(dòng)裝置5具有兩個(gè)滾軸50、51，其中一滾軸50定義為主動(dòng)滾軸，另一滾軸51定義為從動(dòng)滾軸，所述主動(dòng)滾軸50可定點(diǎn)樞設(shè)于液體儲(chǔ)槽I中，從動(dòng)滾軸51則可通過調(diào)整組件組設(shè)于液體儲(chǔ)槽I中，用以調(diào)整主動(dòng)滾軸50與從動(dòng)滾軸51間的相對(duì)位置，所述輪系傳動(dòng)組54為皮帶輪組，其中包括有主動(dòng)輪541、從動(dòng)輪542以及環(huán)狀皮帶543，該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53以旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端(即心軸)連接主動(dòng)滾軸50之端部，主動(dòng)輪541設(shè)于主動(dòng)滾軸50上，從動(dòng)輪542設(shè)于從動(dòng)滾軸51上，環(huán)狀皮帶543環(huán)繞于主動(dòng)輪541與從動(dòng)輪542上，使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)53結(jié)合皮帶輪組帶動(dòng)主動(dòng)滾軸50與從動(dòng)滾軸51同向旋轉(zhuǎn)。如圖7及圖9所示，靶材移動(dòng)裝置5尚可進(jìn)一步包括至少一個(gè)滾軸輔助支撐架55，所述滾軸輔助支撐架55設(shè)于液體儲(chǔ)槽I中且支撐滾軸50、51，在本較佳實(shí)施例中，所述滾軸輔助支撐架55具有架體以及樞設(shè)于架體上的滾輪，并以滾輪可滾動(dòng)地接觸滾軸50、51，用以防止?jié)L軸50、51彎曲。所述滾軸50、51可為單一構(gòu)件所構(gòu)成的滾軸，或可為復(fù)合式滾軸等型式，當(dāng)滾軸50、51為復(fù)合式滾軸時(shí)，如圖10所示，其包括有一軸桿501、511以及多個(gè)個(gè)外套環(huán)502、512，該多個(gè)個(gè)外套環(huán)502、512套設(shè)于該軸桿501、511上，使其可因應(yīng)濺鍍靶材(如異型靶材)的不等厚度而藉由該多個(gè)外套環(huán)502、512于軸桿501、511上作相應(yīng)的排列變化而組成相應(yīng)的滾軸，所述外套環(huán)502、512可為橡膠材質(zhì)所制成環(huán)圈，作為橡膠包覆體，提供待檢濺鍍靶材的磨擦接觸面。本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)尚可進(jìn)一步包括兩個(gè)承載架7，該兩個(gè)承載架7是裝設(shè)于該液體儲(chǔ)槽I內(nèi)部，且分位于該多個(gè)滾軸50、51的外圍，用以搭配滾軸50、51輔助支撐待檢濺鍍靶材，承載架7的頂緣可與滾軸50、51外周面頂緣同高，所述承載架7可為多個(gè)架桿交錯(cuò)組接而成。本實(shí)用新型濺鍍靶材檢濺機(jī)構(gòu)在使用時(shí)，當(dāng)濺鍍靶材為平面型時(shí)，該平面型濺鍍靶材8置于液體儲(chǔ)槽I且浸置于液體中，且該平面型濺鍍靶材8平置于該靶材移動(dòng)裝置5的多個(gè)滾軸50、51上，或進(jìn)一步通過該多個(gè)滾軸50、51兩側(cè)的承載架7輔助支撐，其次，由控制器6令移動(dòng)裝置3帶動(dòng)超音波檢測(cè)組件4三維空間位移，由超音波檢測(cè)組件4的超音波檢測(cè)單元40對(duì)平面型濺鍍靶材上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，并將訊號(hào)傳送至控制器6，所述控制器6可包括顯示器，在顯示器的畫面中呈現(xiàn)檢測(cè)的結(jié)果，前述中平面型濺鍍靶材為大面積時(shí)，可通過多個(gè)超音波檢測(cè)單元40區(qū)分?jǐn)?shù)個(gè)區(qū)域同時(shí)進(jìn)行超音波檢測(cè)，以縮短作業(yè)時(shí)間。當(dāng)濺鍍靶材為圓筒型時(shí)，該圓筒型濺鍍靶材8置于液體儲(chǔ)槽I且浸置于液體中，且該圓筒型濺鍍靶材8平置于該靶材移動(dòng)裝置5之多個(gè)滾軸50、51上，其次，由控制器6令移動(dòng)裝置帶動(dòng)超音波檢測(cè)組件4相對(duì)于圓筒型濺鍍靶材8軸向位移，由超音波檢測(cè)組件4的超音波檢測(cè)單元40對(duì)圓筒型濺鍍靶材8上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，將訊號(hào)傳送至控制器6，并透過控制器6的顯示器畫面呈現(xiàn)檢測(cè)的結(jié)果，接續(xù)由靶材移動(dòng)裝置5之滾軸驅(qū)動(dòng)組件52帶動(dòng)多個(gè)滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，而使?jié)L軸50、51上的圓筒型濺鍍靶材8旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度后停止，再由移動(dòng)裝置3帶動(dòng)的超音波檢測(cè)組件4接續(xù)進(jìn)行圓筒型濺鍍靶材另一角度位置進(jìn)行超音波檢測(cè)，直至該圓筒型濺鍍材全面完成超音波檢測(cè)。當(dāng)濺鍍靶材為異型時(shí)，先依該異型濺鍍靶材調(diào)整改變?cè)摱鄠€(gè)滾軸50、51形狀，使該多個(gè)滾軸50、51外形與該異型濺鍍靶材相符，再令該異型濺鍍靶材置于液體儲(chǔ)槽I且浸置于液體中，且該異型濺鍍靶材平置于該靶材移動(dòng)裝置5之多個(gè)滾軸50、51上。其次，由控制器6令移動(dòng)裝置3帶動(dòng)超音波檢測(cè)組件4相對(duì)于異型濺鍍靶材8軸向位移，由超音波檢測(cè)組件4的超音波檢測(cè)單元40對(duì)異型濺鍍靶材8上發(fā)出超音波及接收反射的超音波，并將訊號(hào)傳送至控制器6，透過控制器6的顯示器畫面呈現(xiàn)檢測(cè)的結(jié)果，接續(xù)由靶材移動(dòng)裝置5之滾軸驅(qū)動(dòng)組件52帶動(dòng)多個(gè)滾軸50、51同向旋轉(zhuǎn)，而使?jié)L軸50、51上的異型濺鍍靶材8旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度后停止，再由移動(dòng)裝置3帶動(dòng)的超音波檢測(cè)組件4接續(xù)進(jìn)行異型濺鍍靶材另一角度位置進(jìn)行超音波檢測(cè)，直至該異型濺鍍材全面完成超音波檢測(cè)為止。上述如此結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本實(shí)用新型濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)的技術(shù)創(chuàng)新，對(duì)于現(xiàn)今同行業(yè)的技術(shù)人員來說均具有許多可取之處，而確實(shí)具有技術(shù)進(jìn)步性。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，其包括 液體儲(chǔ)槽； 移動(dòng)式超音波檢測(cè)機(jī)組，其包括移動(dòng)裝置以及超音波檢測(cè)組件，所述移動(dòng)裝置于液體儲(chǔ)槽上，且組接所述超音波檢測(cè)組件，用以驅(qū)動(dòng)超音波檢測(cè)組件作三維空間位移； 靶材移動(dòng)裝置，系包括多個(gè)滾軸以及一滾軸驅(qū)動(dòng)組件，該多個(gè)滾軸并列樞設(shè)于液體儲(chǔ)槽中，滾軸驅(qū)動(dòng)組件連接該多個(gè)滾軸，用以驅(qū)動(dòng)該多個(gè)滾軸同向旋轉(zhuǎn)； 控制器，所述控制器電連接移動(dòng)裝置與滾軸驅(qū)動(dòng)組件，用以控制所述移動(dòng)裝置與滾軸 驅(qū)動(dòng)組件的工作。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述移動(dòng)裝置包括X軸向移動(dòng)組件、Y軸向移動(dòng)組件、Z軸向移動(dòng)組件以及移動(dòng)構(gòu)件；所述X軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述液體儲(chǔ)槽的槽壁上，所述X軸向移動(dòng)組件包括第一移動(dòng)構(gòu)件，以及用以驅(qū)動(dòng)所述第一移動(dòng)構(gòu)件沿X軸向移動(dòng)的X軸向驅(qū)動(dòng)器； 所述Y軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述X軸向移動(dòng)組件的第一移動(dòng)構(gòu)件上，且可為X軸向移動(dòng)組件帶動(dòng)沿X軸向移動(dòng)，所述Y軸向移動(dòng)組件具有第二移動(dòng)構(gòu)件，以及用以驅(qū)動(dòng)所述第二移動(dòng)構(gòu)件沿Y軸向移動(dòng)的Y軸向驅(qū)動(dòng)器； 所述Z軸向移動(dòng)組件設(shè)于所述第二移動(dòng)構(gòu)件上，所述Z軸向移動(dòng)組件包括Z軸向驅(qū)動(dòng)器，所述Z軸向驅(qū)動(dòng)器與所述移動(dòng)構(gòu)件相連接； 所述X軸向驅(qū)動(dòng)器、Y軸向驅(qū)動(dòng)器與Z軸向驅(qū)動(dòng)器電連接控制器； 所述超音波檢測(cè)組件包括至少一個(gè)超音波檢測(cè)單元，所述超音波檢測(cè)單元設(shè)于所述移動(dòng)構(gòu)件上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及輪系傳動(dòng)組，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)電連接控制器，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端結(jié)合輪系傳動(dòng)組連接該多個(gè)滾軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滾軸驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及輪系傳動(dòng)組，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)電連接控制器，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端結(jié)合輪系傳動(dòng)組連接該多個(gè)滾軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，該靶材移動(dòng)裝置包括主動(dòng)滾軸和從動(dòng)滾軸，所述輪系傳動(dòng)組為皮帶輪組，其包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪以及環(huán)狀皮帶，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以旋轉(zhuǎn)作動(dòng)端連接主動(dòng)滾軸的端部，所述主動(dòng)輪設(shè)于所述主動(dòng)滾軸上，所述從動(dòng)輪設(shè)于從動(dòng)滾軸上，所述環(huán)狀皮帶環(huán)繞于所述主動(dòng)輪與所述從動(dòng)輪上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述靶材移動(dòng)裝置包括一調(diào)整組件，所述調(diào)整組件與從動(dòng)滾軸相連接，所述調(diào)整組件用以調(diào)整所述主動(dòng)滾軸與所述從動(dòng)滾軸間的相對(duì)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滾軸為復(fù)合式滾軸，其包括有軸桿以及多個(gè)外套環(huán)，該多個(gè)外套環(huán)套設(shè)于該軸桿上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滾軸為復(fù)合式滾軸，其包括有軸桿以及多個(gè)外套環(huán)，該多個(gè)外套環(huán)套設(shè)于該軸桿上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括兩個(gè)承載架，該兩個(gè)承載架裝設(shè)于該液體儲(chǔ)槽內(nèi)部，且分位于該多個(gè)滾軸的外圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括兩個(gè)承載架，該兩個(gè)承載架是裝設(shè)于該液體儲(chǔ)槽內(nèi)部，且分位于該多個(gè)滾軸的外圍。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其主要在液體儲(chǔ)槽上裝設(shè)可三維空間移動(dòng)的移動(dòng)裝置帶動(dòng)一超音波檢測(cè)組件位移，另外，液體儲(chǔ)槽中樞設(shè)多個(gè)并列的滾軸，該多個(gè)滾軸由滾軸驅(qū)動(dòng)組件所驅(qū)動(dòng)而同向旋轉(zhuǎn)，通過利用該多個(gè)滾軸于液體儲(chǔ)槽中承載待檢濺鍍靶材，為超音波檢測(cè)組件進(jìn)行檢測(cè)，并可利用滾軸帶動(dòng)濺鍍靶材旋轉(zhuǎn)，使該濺鍍靶材檢測(cè)機(jī)構(gòu)可以一機(jī)適于平面型、圓筒形或異型等多種不同型式的濺鍍靶材檢測(cè)作業(yè)。
文檔編號(hào)G01N29/04GK202383109SQ20112055159
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者林勝國 申請(qǐng)人:昆山全亞冠環(huán)?？萍加邢薰?br>