技術(shù)編號(hào):5918757
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及濕度檢測(cè),尤其涉及一種濕度檢測(cè)裝置。 背景技術(shù)目前,在薄膜晶體管的生產(chǎn)過程中,每層圖案(pattern)的形成主要分為成膜、掩膜、刻蝕以及剝離四步。在上述四步中,為了防止薄膜晶體管上出現(xiàn)微小塵埃,在成膜前、掩膜前以及剝離后都要對(duì)該薄膜晶體管進(jìn)行清潔工序。進(jìn)一步的,在清潔工序之后還要對(duì)該薄膜晶體管進(jìn)行干燥工序。但是在對(duì)薄膜晶體管進(jìn)行干燥工序時(shí),用于干燥的設(shè)備常會(huì)出現(xiàn)故障,使水漬等液體殘留在該薄膜晶體管的基板的溝道中,影響該薄膜晶體管的成像,從而...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。