技術(shù)編號：5880545
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及檢測應(yīng)用，具體涉及一種根據(jù)被測參數(shù)的差分測量值來重構(gòu)原被測參數(shù)的檢測方法，包括精密、超精密工件表面的直線度、平面度、圓柱度、自由曲面面形的檢測以及橫向剪切干涉的波前重構(gòu)。對于直線度、圓柱度、平面度以及采用位移傳感器檢測時的面形精度重構(gòu)問題，其最基本的問題就是解決直線度的重構(gòu)問題，因此基于差分值的測量問題就可簡單地概括為直線度和橫行剪切干涉測量兩個方面。為了高精度地檢測工件表面輪廓，人們很早就開始了這方面的研究。比如對工件直線度的測量，從80年代初...
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