技術(shù)編號(hào)：5875660
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用功能化碳納米管為敏感材料的微懸臂梁傳感器的制造方法， 屬于微納傳感器領(lǐng)域。背景技術(shù)高靈敏度氣體傳感器作為一種重要的生化檢測(cè)手段，在環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品工業(yè)、醫(yī)學(xué) 診斷、國(guó)家安全等方面有著廣泛的應(yīng)用。在眾多的氣體傳感器類別中，基于MEMS (微電子機(jī) 械系統(tǒng))技術(shù)的氣體傳感器是其中的一個(gè)研究熱點(diǎn)。MEMS傳感器的代表是微懸臂梁傳感 器，其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作容易、靈敏度高、使用靈活多樣等。通常微懸臂梁傳感器的工作 模式有動(dòng)態(tài)和靜態(tài)兩種。其中動(dòng)態(tài)(...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。