技術(shù)編號：5872169
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試，特別涉及一種用于液體顆粒測試的適配裝置。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中，顆粒(particle)對產(chǎn)品良率影響重大。其中，化學(xué)品中的顆粒由于直接參與器件的制造，對產(chǎn)品的影響更是重中之重。然而，半導(dǎo)體行業(yè)所使用的化學(xué)品大多數(shù)屬于強酸液體或強堿液體，具有高粘度和高揮發(fā)性等特點，這使得對這些化學(xué)品中顆粒的測量變得特別困難。針對化學(xué)品中顆粒的監(jiān)測，現(xiàn)有的測試方法主要包括兩種第一種是對不同的化學(xué)品進(jìn)行現(xiàn)場取樣，然后將樣品帶到液體顆粒計數(shù)器(...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。