專利名稱：用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中，顆粒(particle)對(duì)產(chǎn)品良率影響重大。其中，化學(xué)品中的顆粒由于直接參與器件的制造，對(duì)產(chǎn)品的影響更是重中之重。然而，半導(dǎo)體行業(yè)所使用的化學(xué)品大多數(shù)屬于強(qiáng)酸液體或強(qiáng)堿液體，具有高粘度和高揮發(fā)性等特點(diǎn)，這使得對(duì)這些化學(xué)品中顆粒的測(cè)量變得特別困難。針對(duì)化學(xué)品中顆粒的監(jiān)測(cè)，現(xiàn)有的測(cè)試方法主要包括兩種第一種是對(duì)不同的化學(xué)品進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)取樣，然后將樣品帶到液體顆粒計(jì)數(shù)器(liquid particle counter)處進(jìn)行測(cè)量；第二種是將液體顆粒計(jì)數(shù)器完全接入待測(cè)試化學(xué)品系統(tǒng)， 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)。然而，上述兩種監(jiān)測(cè)方法都有其局限性。第一種方法中，取樣測(cè)試的測(cè)量結(jié)果極易受到取樣過程中外部環(huán)境的影響，測(cè)量的重復(fù)性很差。圖1顯示了采用該方法對(duì)一種硫酸溶液進(jìn)行顆粒測(cè)試的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖。該硫酸溶液的濃度為96%。圖1中，橫坐標(biāo)代表測(cè)試的次數(shù)，縱坐標(biāo)代表測(cè)得的每毫升硫酸溶液中的顆粒數(shù)。直線LlO代表了制造工藝中容許的每毫升硫酸溶液中的顆粒數(shù)的極限值，該極限值略大于1000。曲線Lll代表實(shí)際測(cè)得的每毫升硫酸溶液中大于0. 1微米的顆粒數(shù)。從曲線Lll可以看出，每次測(cè)得的數(shù)據(jù)浮動(dòng)較大， 且多次超出了制造工藝容許的極限值。這表明采用現(xiàn)場(chǎng)取樣測(cè)試法極易受到外部環(huán)境中顆粒的影響，測(cè)量的重復(fù)性很差。第二種方法雖然確保了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確可靠，但是測(cè)試成本會(huì)很高，每一待測(cè)試化學(xué)品系統(tǒng)均需要一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，能夠避免外部環(huán)境中顆粒的影響，并實(shí)現(xiàn)一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)不同待測(cè)試液體系統(tǒng)的目的。本發(fā)明提供一種用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，連接待測(cè)試液體系統(tǒng)和液體顆粒計(jì)數(shù)器，其包括緩沖容器；導(dǎo)入單元，連接所述待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口，用于導(dǎo)入所述液體至所述緩沖容器；排液?jiǎn)卧?，連接所述緩沖容器，用于導(dǎo)出所述液體至外部環(huán)境；導(dǎo)出單元，用于輸送所述液體至所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。優(yōu)選的，所述導(dǎo)出單元連接所述排液?jiǎn)卧?。?yōu)選的，所述導(dǎo)出單元連接所述緩沖容器。優(yōu)選的，所述導(dǎo)入單元包括導(dǎo)入管，所述導(dǎo)入管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中，且通過第一連接器連通所述待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口。優(yōu)選的，所述排液?jiǎn)卧ǖ谝粚?dǎo)出管、第一中間連通管以及排液管，所述第一導(dǎo)出管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中，且通過第二連接器連通所述第一中間連通管，所述第一中間連通管通過第三連接器連通所述排液管，所述排液管置于所述緩沖容器外部。
優(yōu)選的，所述導(dǎo)出單元包括第二中間連通管和出口管，所述第二中間連通管一端連接到所述第三連接器，另一端通過第四連接器連通所述出口管，所述出口管連接到所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。優(yōu)選的，所述出口管的直徑小于所述第二中間連通管的直徑。優(yōu)選的，所述導(dǎo)出單元包括第二導(dǎo)出管和出口管，所述第二導(dǎo)出管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中，且通過第四連接器連通所述出口管，所述出口管連接到所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。優(yōu)選的，所述出口管的直徑小于所述第二導(dǎo)出管的直徑。優(yōu)選的，所述適配裝置的材料為過氟烷基化物或聚四氟乙烯。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，通過緩沖容器和排液?jiǎn)卧木彌_作用，降低液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口到液體顆粒計(jì)數(shù)器的壓力，從而能夠使用一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)不同的待測(cè)試液體系統(tǒng)，同時(shí)由于適配裝置使得到達(dá)液體顆粒計(jì)數(shù)器的液體與外部環(huán)境隔離，避免了外部環(huán)境中顆粒的影響。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中采用現(xiàn)場(chǎng)取樣測(cè)試法對(duì)一種硫酸溶液進(jìn)行顆粒測(cè)試的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為采用根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第一實(shí)施例后對(duì)一種硫酸溶液進(jìn)行在線顆粒測(cè)試的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置連接待測(cè)試液體系統(tǒng)和液體顆粒計(jì)數(shù)器，其包括緩沖容器、導(dǎo)入單元、排液?jiǎn)卧约皩?dǎo)出單元。導(dǎo)入單元連接所述待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口，用于導(dǎo)入所述液體至所述緩沖容器。排液?jiǎn)卧B接所述緩沖容器，用于導(dǎo)出所述液體至外部環(huán)境。導(dǎo)出單元用于輸送所述液體至所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。由于待測(cè)試液體系統(tǒng)中多為具有強(qiáng)腐蝕性的強(qiáng)酸液體或強(qiáng)堿液體，因此整個(gè)適配裝置的材料優(yōu)選為過氟烷基化物(Polyfluoroalkoxy, PFA)或聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene, PTFE) 圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2中，導(dǎo)入單元包括導(dǎo)入管21。導(dǎo)入管21從緩沖容器1的頂端插入到該緩沖容器1中，且通過第一連接器22連通待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口(未圖示)。排液?jiǎn)卧ǖ谝粚?dǎo)出管31、第一中間連通管33以及排液管35。第一導(dǎo)出管31從緩沖容器1的頂端插入到該緩沖容器1中，且通過第二連接器32連通第一中間連通管33。第一中間連通管33通過第三連接器34連通排液管35，該排液管35置于緩沖容器1外部。在本實(shí)施例中，導(dǎo)出單元連接排液?jiǎn)卧?。具體地，該導(dǎo)出單元包括第二中間連通管41和出口管43。其中，第二中間連通管41 一端連接到第三連接器34，另一端通過第四連接器42連通出口管43。出口管
443連接到液體顆粒計(jì)數(shù)器(未圖示)。此外，由于液體顆粒計(jì)數(shù)器只能測(cè)試少量液體，因此出口管43的直徑優(yōu)選為小于第二中間連通管41的直徑。開始測(cè)試時(shí)，液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口經(jīng)導(dǎo)入管21流入緩沖容器1，并經(jīng)第一導(dǎo)出管21從緩沖容器1中導(dǎo)出至第一中間連通管33，然后一部分液體經(jīng)排液管35排出到外部環(huán)境以降低緩沖容器1內(nèi)的壓力，同時(shí)另一部分液體經(jīng)第二中間連通管41和出口管43輸送至液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。圖3顯示了采用根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第一實(shí)施例后對(duì)一種硫酸溶液進(jìn)行在線顆粒測(cè)試的實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖。該硫酸溶液與圖1中測(cè)試的硫酸溶液相同。圖3中，橫坐標(biāo)代表測(cè)試的次數(shù)，縱坐標(biāo)代表測(cè)得的每毫升硫酸溶液中的顆粒數(shù)。曲線L21、L22以及L23代表實(shí)際測(cè)得的每毫升硫酸溶液中分別大于 0. 1微米、0. 15微米以及0.2微米的顆粒數(shù)?？梢钥闯觯捎迷撨m配裝置連接待測(cè)試液體系統(tǒng)和液體顆粒計(jì)數(shù)器后，測(cè)量結(jié)果趨于穩(wěn)定，沒有較大的起伏，且每次的測(cè)量值均遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于制造工藝容許的極限值，很好地避免了外部環(huán)境中顆粒對(duì)測(cè)試的影響。由此，通過緩沖容器1和排液?jiǎn)卧木彌_作用，降低了液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口到液體顆粒計(jì)數(shù)器的壓力，這就能夠使用一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)不同的待測(cè)試液體系統(tǒng)，同時(shí)由于適配裝置使得到達(dá)液體顆粒計(jì)數(shù)器的液體與外部環(huán)境隔離，避免了外部環(huán)境中顆粒的影響。圖4為根據(jù)本發(fā)明的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。 本實(shí)施例與第一實(shí)施例的區(qū)別在于，導(dǎo)出單元連接緩沖容器1。具體地，該導(dǎo)出單元包括第二導(dǎo)出管44和出口管43。其中，第二導(dǎo)出管44從緩沖容器1的頂端插入到該緩沖容器1 中，且通過第四連接器42連通出口管43。出口管43連接到液體顆粒計(jì)數(shù)器。類似地，由于液體顆粒計(jì)數(shù)器只能測(cè)試少量液體，因此出口管43的直徑優(yōu)選為小于第二導(dǎo)出管44的直徑。開始測(cè)試時(shí)，液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口經(jīng)導(dǎo)入管21流入緩沖容器1，一部分液體經(jīng)第一導(dǎo)出管21從緩沖容器1沖導(dǎo)出至第一中間連通管33，然后經(jīng)排液管35排出到外部環(huán)境以降低緩沖容器1內(nèi)的壓力，同時(shí)另一部分液體經(jīng)第二導(dǎo)出管44從緩沖容器1 中導(dǎo)出，最后經(jīng)出口管43輸送至液體顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。同樣，采用該適配裝置連接待測(cè)試液體系統(tǒng)和液體顆粒計(jì)數(shù)器后，測(cè)量結(jié)果趨于穩(wěn)定，沒有較大的起伏，很好地避免了外部環(huán)境中顆粒對(duì)測(cè)試的影響。綜上所述，本發(fā)明提供的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，通過緩沖容器和排液?jiǎn)卧木彌_作用，降低液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口到液體顆粒計(jì)數(shù)器的壓力，從而能夠使用一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)不同的待測(cè)試液體系統(tǒng)，同時(shí)由于適配裝置使得到達(dá)液體顆粒計(jì)數(shù)器的液體與外部環(huán)境隔離，避免了外部環(huán)境中顆粒的影響。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，連接待測(cè)試液體系統(tǒng)和液體顆粒計(jì)數(shù)器，其特征在于，包括緩沖容器；導(dǎo)入單元，連接所述待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口，用于導(dǎo)入所述液體至所述緩沖容器；排液?jiǎn)卧?，連接所述緩沖容器，用于導(dǎo)出所述液體至外部環(huán)境；導(dǎo)出單元，用于輸送所述液體至所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。
2.如權(quán)利要求1所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述導(dǎo)出單元連接所述排液?jiǎn)卧?br> 3.如權(quán)利要求1所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述導(dǎo)出單元連接所述緩沖容器。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述導(dǎo)入單元包括導(dǎo)入管，所述導(dǎo)入管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中，且通過第一連接器連通所述待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口。
5.如權(quán)利要求4所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述排液?jiǎn)卧ǖ谝粚?dǎo)出管、第一中間連通管以及排液管，所述第一導(dǎo)出管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中，且通過第二連接器連通所述第一中間連通管，所述第一中間連通管通過第三連接器連通所述排液管，所述排液管置于所述緩沖容器外部。
6.如權(quán)利要求5所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述導(dǎo)出單元包括第二中間連通管和出口管，所述第二中間連通管一端連接到所述第三連接器，另一端通過第四連接器連通所述出口管，所述出口管連接到所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。
7.如權(quán)利要求6所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述出口管的直徑小于所述第二中間連通管的直徑。
8.如權(quán)利要求5所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述導(dǎo)出單元包括第二導(dǎo)出管和出口管，所述第二導(dǎo)出管從所述緩沖容器的頂端插入到所述緩沖容器中， 且通過第四連接器連通所述出口管，所述出口管連接到所述液體顆粒計(jì)數(shù)器。
9.如權(quán)利要求8所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述出口管的直徑小于所述第二導(dǎo)出管的直徑。
10.如權(quán)利要求1所述的用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，其特征在于，所述適配裝置的材料為過氟烷基化物或聚四氟乙烯。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于液體顆粒測(cè)試的適配裝置，通過緩沖容器和排液?jiǎn)卧木彌_作用，降低液體從待測(cè)試液體系統(tǒng)的取樣口到液體顆粒計(jì)數(shù)器的壓力，從而能夠使用一臺(tái)液體顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)不同的待測(cè)試液體系統(tǒng)，同時(shí)由于適配裝置使得到達(dá)液體顆粒計(jì)數(shù)器的液體與外部環(huán)境隔離，避免了外部環(huán)境中顆粒的影響。
文檔編號(hào)G01N15/10GK102252953SQ20101018135
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者劉克斌, 吳靜鑾, 張士仁, 方明海, 謝淵 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司