技術(shù)編號(hào)：5863443
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)要求美國(guó)第60/293,562號(hào)，申請(qǐng)日為2001年5月25日的臨時(shí)申請(qǐng)的利益，該公開在這里以參考的方式全部引入。 背景技術(shù) 本申請(qǐng)涉及一種在基片上制造具有特征部件(features)的器件中的應(yīng)力(stresses)測(cè)量和分析。由適當(dāng)?shù)墓虘B(tài)材料形成的基片可以用作平臺(tái)以支撐不同的結(jié)構(gòu)，如在其上形成的具有層狀結(jié)構(gòu)或者涂層的大面板和集成在基片上的微結(jié)構(gòu)。例如大面板其中包括航空和航海部件和結(jié)構(gòu)。例如基于基片的具有一層或多個(gè)層或者膜的集成器件，一層或多個(gè)層或...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。