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半導(dǎo)體元件的耐壓測(cè)定裝置及耐壓測(cè)定方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5863229

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本發(fā)明涉及對(duì)半導(dǎo)體元件的耐壓進(jìn)行測(cè)定的耐壓測(cè)定裝置及耐壓測(cè)定方法,尤其涉及一種在被安裝到封裝中之前的晶片狀態(tài)下,可以對(duì)具有高耐壓的碳化硅半導(dǎo)體元件等功率器件的耐壓進(jìn)行測(cè)定的耐壓測(cè)定裝置及耐壓測(cè)定方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體元件通常在晶片上形成有多個(gè),在分離成獨(dú)立的元件之后,被封入到樹(shù)脂制的封裝等中。使用測(cè)定裝置對(duì)各半導(dǎo)體元件是否具有規(guī)定性能進(jìn)行評(píng)價(jià),只將滿足了評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體元件作為制品進(jìn)行販賣。在封裝之后進(jìn)行這樣的評(píng)價(jià)的情況下,需要實(shí)施將獨(dú)立的半導(dǎo)體元件一個(gè)一個(gè)...
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