技術(shù)編號：5861026
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及探針卡組件的制造，該探針卡組件用于測試形成于半導體晶片例如硅或砷化鎵上的集成電路的電連續(xù)性。背景技術(shù) 在用于進行該測試的探針卡的標準設(shè)計中，多層陶瓷(MLC)板插入探針頭和印刷電路板(PCB)之間，該探針頭有多個小直徑探針，這些探針布置成與進行測試的集成電路上的電路接觸，該印刷電路板與測試設(shè)備的電儀表或其它裝置進行連接。該板是有導電線的空間變換器(spacetransformer)，該導電線有穿過該板延伸的導電通路。MLC空間變換器的目的是使電信...
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