技術(shù)編號：5840261
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于表面形狀測量，特別涉及一種雙偏置參數(shù)圓輪廓測量 模型與偏置誤差分離方法。背景技術(shù)圓度誤差是控制回轉(zhuǎn)類零部件質(zhì)量的一個重要技術(shù)參量。隨著精密工程 技術(shù)和國防尖端技術(shù)的迅速發(fā)展，大量超精密回轉(zhuǎn)體零件的廣泛應(yīng)用，如作 為比對和校準用的圓標準器一石英標準半球指定圓截面的圓度誤差一般在5nm~ 50nm之間；靜電懸浮陀螺轉(zhuǎn)子圓度要求在10nm以內(nèi)，這些都對圓度 誤差的超精密測量提出了極高的要求。偏置誤差是影響圓輪廓超精密測量的重要誤差源，目前國內(nèi)外圓輪廓測...
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