技術(shù)編號(hào)：5741545
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于在一個(gè)基底上進(jìn)行至少一種工藝作業(yè)的設(shè)備。已知對(duì)基底進(jìn)行一種工藝作業(yè)，例如利用濺射工藝、蒸發(fā)工藝如物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)或等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝來涂層，以及為獲得特殊性能而對(duì)基底退火。通常，一種所謂基底的批量工藝是已知的，其中大量的基底在一個(gè)工藝室內(nèi)同時(shí)進(jìn)行同一工藝作業(yè)。這種批量工藝的優(yōu)點(diǎn)是工藝容量大。但是，一個(gè)問題是需要對(duì)該工藝室內(nèi)存在的所有基底保證同樣的處理?xiàng)l件。為了解決這個(gè)問題，已知在每種情...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。