技術(shù)編號(hào)：5645389
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種大型復(fù)合式真空主閥。 背景技術(shù)大型真空系統(tǒng)與受排氣設(shè)備之間的快速啟閉及密封需要一種大口徑高性能真空 閥門，通常采用普通的大口徑蝶閥并用電機(jī)驅(qū)動(dòng)的形式，這種結(jié)構(gòu)傳動(dòng)不平穩(wěn)，啟閉時(shí)間 長、密封性能不能滿足需求，本實(shí)用新型的發(fā)明，可以滿足真空系統(tǒng)與受排氣設(shè)備之間平 穩(wěn)、快速密封啟閉連接要求。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提出一種大型復(fù)合式真空主閥。本實(shí)用新型提出的大型復(fù)合式真空主閥，由閥座1、閥板2、軸端擋板3、限位開關(guān) 4、液壓缸5、支架6、法...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。