技術(shù)編號：5492859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)和微加工技術(shù)，具體涉及微渦卷壓縮機，其相關(guān)技術(shù)涉及步進式靜電側(cè)面驅(qū)動，頂端方向和徑向柔量配合靜電防泄漏法和生物傳感器。背景技術(shù) 渦卷壓縮機的概念由Creux在1905年提出。由于需要幾近完美的共軛螺旋線設(shè)計、加工，誤差必須被控制在數(shù)個微米，因此，直到20世紀70年代計算機控制的精密加工應(yīng)用之前，在很長一段時間無法付諸實施。除了上述制造難度外，設(shè)計方面的問題，比如磨損和泄漏的預(yù)防也是一個原因。根據(jù)渦卷壓縮機的概念，兩個復(fù)雜的渦卷葉片必...
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