技術(shù)編號:54670
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本申請涉及SiC生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種可移動的SiC生長坩堝平臺。該裝置在石墨塊的底部設(shè)置軌道,在防治石墨塊的不銹鋼底座頂部設(shè)置軌道,使得兩處的軌道形成軌道副,所以石墨塊可以在不銹鋼底座上滑行,這為石墨塊的移動極大地節(jié)省了人力。專利說明一種可移動的S i C生長坩堝平臺技術(shù)領(lǐng)域[0001]本申請涉及SiC生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種可移動的SiC生長坩禍平臺。背景技術(shù)[0002]人造SiC通常是在坩禍中進行生產(chǎn)的,坩禍是通過石墨平臺進行支撐的,石墨平臺起到均熱作用,在SiC生長過程中,需要反復(fù)對坩禍進行加熱和...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。