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一種滑閥真空泵的擋流結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5429806

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本實(shí)用新型屬于滑閥真空泵,涉及一種滑閥真空泵的擋流結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)滑閥式真空泵,是抽除一般性氣體或含有少量可凝性蒸汽的氣體(應(yīng)使用氣鎮(zhèn)裝置)的真空抽氣設(shè)備之一,真空泵抽速對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽很敏感,滑閥式真空泵廣泛用于航空航天、生物醫(yī)藥、真空冶金、真空焊接、真空熱處理、真空干燥、醫(yī)藥化工、光電子、太陽(yáng)能光伏等行業(yè)。真空泵按真空度可分為低真空、中真空、高真空、超高真空四大類(lèi);在中高真空真空系列中滑閥真空泵可單獨(dú)使用,也可作為羅茨真空泵,油增壓泵, ...
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