技術(shù)編號:5293540
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于電化學(xué)領(lǐng)域,具體涉及一種超臨界流體微細(xì)電鑄成型工藝及其裝置。背景技術(shù) 微細(xì)電鑄成型工藝是利用金屬離子在陰極表面電沉積的原理進(jìn)行零件成型加工的一種精密特種加工方法,在制造復(fù)雜精密、異型零件,尤其是微機(jī)械制造領(lǐng)域方面得到了日趨廣泛的應(yīng)用。如LIGA技術(shù)(德文Lithographie、Galvanoformung和Abformung三個詞的縮寫,意思為光刻、電鑄和注塑),它是制造微型機(jī)械最主要的手段之一,在MEMS(英文Microelectromech...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。