技術編號：5290128
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術 已經使用汽相方法如濺射或CVD和液相方法如溶膠-凝膠方法作為生產各種類型的氧化物膜的方法，但它們以下面的方式受到限制。汽相方法在汽相中實現(xiàn)在基材上的成膜，因此需要高成本的設備以獲得真空體系。還必需使用在成膜之前加熱基材的器具。并且在具有不規(guī)則或彎曲表面的基材上難以形成膜。作為液相方法，溶膠-凝膠方法需要在施涂之后進行燃燒，因此導致產生裂縫和金屬與基材分開。由于揮發(fā)性物質的存在，難以形成致密的涂層。一種液相方法使用氟化合物(如氟絡離子)...
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