技術(shù)編號(hào):5290125
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及從伴隨液體流入·排出進(jìn)行處理這一液流處理中所使用的液體中將異物去除的異物去除機(jī)構(gòu)、具有該異物去除機(jī)構(gòu)的液流處理裝置、以及在該異物去除裝置中采用的異物去除方法。背景技術(shù) 近年來(lái),移動(dòng)式信息終端之類電子設(shè)備在向體積小、重量輕方面發(fā)展。與之相應(yīng)地,要求組裝于這類電子設(shè)備中的半導(dǎo)體集成電路本身體積小重量輕,實(shí)現(xiàn)安裝高密度化。半導(dǎo)體集成電路等(以下稱作半導(dǎo)體器件)是經(jīng)過(guò)各種各樣的處理工序制造出來(lái)的,這些處理工序大多包括清洗、蝕刻以及電鍍等使用藥液的處理。下...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。