技術編號：5285100
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供了一種制備納米多孔硅的電化學腐蝕系統(tǒng)，包括兩個腐蝕槽體，采用耐酸材料聚四氟乙烯材料制作，放置在底座支架上，兩個腐蝕槽體通過密封固定夾具連接，使兩個腐蝕槽體相互隔絕，僅通過硅片形成導通，每個腐蝕槽體底部設有兩個電極固定座，腐蝕槽體頂部設有槽蓋，槽蓋上開有加液口和電極入口，腐蝕槽體底部開有排液口，排液口上安裝排液閥。本實用新型降低了腐蝕液的用量，減少了人工操作工藝，降低了硅片損壞性。專利說明一種制備納米多孔娃的電化學腐蝕系統(tǒng) [0001]本...
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