技術(shù)編號(hào):5281242
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)作為非晶碳膜,類(lèi)金剛石碳膜(簡(jiǎn)稱DLC膜)的機(jī)械、光學(xué)、電學(xué)、化學(xué)和摩擦學(xué)特 性類(lèi)似于金剛石。類(lèi)金剛石碳膜具有高硬度、抗磨損、化學(xué)惰性、低介電常數(shù)、寬光學(xué)帶隙以 及良好的生物相容性等特性,可以廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、化學(xué)、軍事和航空航天等領(lǐng)域。但 由于它的低電導(dǎo)性限制在其作為電極材料的應(yīng)用上。最近,碳納米管(CNT)被廣泛認(rèn)為是 一種良好的具有獨(dú)特電學(xué)性質(zhì)的物質(zhì),在作為良導(dǎo)體薄膜上引起了巨大的關(guān)注,然而液相 電沉積制備的碳納米管薄膜易剝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。