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用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅粉體的氣流床反應(yīng)器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271565

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本發(fā)明涉及一種用晶體硅加工廢砂漿回收硅粉制備氮化硅粉體的氣流床反應(yīng)器,屬于太陽能光伏電池晶體硅加工廢棄物綜合利用領(lǐng)域。背景技術(shù)氮化硅是一種先進(jìn)的工程陶瓷材料,具有高的室溫和高溫強(qiáng)度、高硬度、耐磨蝕性、抗氧化性和良好的抗熱沖擊及機(jī)械沖擊性能,被材料科學(xué)界認(rèn)為是結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域中綜合性能優(yōu)良、最有希望替代鎳基合金在高科技、高溫領(lǐng)域中獲得廣泛應(yīng)用的一種新材料。氮化硅粉體合成工藝一般為硅粉直接氮化3Si+2N2 = Si3N4硅亞胺氣相反應(yīng)3SiCl4+4NH3 = ...
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