技術(shù)編號(hào)：5270705
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。，屬于微納制造。其首先在襯底上制備氧化石墨烯薄膜，然后在氧化石墨烯薄膜上制作提供加工氣氛的微腔，最后在NH3條件下，利用搭建的激光微納加工系統(tǒng)對(duì)氧化石墨烯進(jìn)行激光直寫加工，獲得還原并氮摻雜的氧化石墨烯微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明結(jié)合激光加工高精度、任意成型等特點(diǎn)，根據(jù)軟件編輯可設(shè)計(jì)并獲得任意形狀的氮摻雜的石墨烯微結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)器件的任意集成，并且調(diào)節(jié)加工氛圍、激光加工功率、曝光時(shí)間、加工步長(zhǎng)可調(diào)節(jié)還原程度和摻雜濃度，最高摻雜濃度可達(dá)10.3%。氮原子的種類（包括石墨化、吡啶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。