技術(shù)編號：5269912
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置，尤其涉及利用MEMS (Micro ElectroMechanical Systems 微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)來形成的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)例如，存在利用了具有振動電極的駐極體電容器等的半導(dǎo)體裝置。在這樣的半導(dǎo)體裝置中，一般的構(gòu)造為，MEMS半導(dǎo)體元件和CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor 互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)半導(dǎo)體元件被安裝在襯底上，且由殼體覆蓋。在該半導(dǎo)體裝置中，聲波，通過被形成在襯底...
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