技術(shù)編號：5268315
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 光調(diào)制裝置是利用微鏡和驅(qū)動電極之間的電位差所產(chǎn)生的靜電力，傾斜驅(qū)動微鏡來調(diào)制來自光源的光。作為光調(diào)制裝置，已有例如將多個微鏡配置為矩陣形結(jié)構(gòu)的DMD(Digital MicromirrorDevice)。DMD能提供高分辨率、高亮度的大畫面。因此，DMD被用于投影器等的投影式圖像裝置。光調(diào)制裝置具有，將擁有微鏡的鏡襯底和擁有驅(qū)動電極的電極襯底，層疊起來的結(jié)構(gòu)。以設(shè)置在鏡襯底和電極襯底之間的支撐部(柱)作為支點，傾斜驅(qū)動微鏡。其支撐部，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。