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微機電封裝模塊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5267578

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本發(fā)明涉及微機電封裝模塊,特別是指一種可簡化工藝且提高產(chǎn)品良率的微機電封裝模塊。背景技術(shù)為了提高微機電封裝模塊的性能,必須在封裝時考慮到機械支持與環(huán)境因素如噪聲干擾的問題,其中,有些微機電封裝模塊的構(gòu)造較為特殊,以微機電麥克風為例,由芯片的下方接收外界的信號,故基板必須形成一曲折通道與微機電麥克風的芯片相通,以達到接收信號的目的。以現(xiàn)有技術(shù)而言,基板必須由多個板體堆疊而成,才能形成出曲折通道,但是此種結(jié)構(gòu)設(shè)計不僅制造成本高,同時會讓基板的厚度增加,連帶影響...
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