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基于單晶硅pn結(jié)的非制冷紅外探測(cè)器陣列及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5266965

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本發(fā)明涉及紅外探測(cè)器,尤其涉及一種基于單晶硅PN結(jié)溫度特 性的非制冷紅外探測(cè)器及其陣列的制造方法。背景技術(shù)紅外成像技術(shù)廣泛應(yīng)用于軍事、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療、森林防火、環(huán)境保 護(hù)等各領(lǐng)域,其核心部件是紅外焦平面陣列(Infrared Focal Plane Array, IRFPA)。才艮據(jù)工作原理分類,可分為光子型紅外4笨測(cè)器和非制冷紅外〗笨測(cè) 器。光子型紅外探測(cè)器采用窄禁帶半導(dǎo)體材料,如HgCdTe、 InSb等,利用光 電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)紅外光信號(hào)向電信號(hào)的轉(zhuǎn)換;...
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