技術(shù)編號:5265472
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微精細(xì)加工領(lǐng)域,涉及微流控芯片技術(shù),特別涉及一種應(yīng)用于普通實驗室的微流控芯片的低溫鍵合的方法。背景技術(shù)微全分析系統(tǒng)(Micro Total Analysis Systems, μ-TAS)是一個以分析化學(xué)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的跨學(xué)科新領(lǐng)域。它是以微機(jī)電(MEMS)為基礎(chǔ),通過在硅、玻璃、石英、高分子材料表面加工出10 100微米的通道及網(wǎng)絡(luò),實現(xiàn)分析設(shè)備的微型化、便攜化,用于此種目的芯片一般被稱為微流控芯片。玻璃及石英材料以其良好的紫外透光性、表面穩(wěn)定...
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