技術(shù)編號：5128598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光刻膠組合物中的溶解抑制劑，該組合物包括高分子粘合劑、溶解抑制劑和光活性化合物，適用于主要產(chǎn)生輻射波長為10-165nm，具體的為157nm的激光。J.Photopol.Sci.& Techn.15(2002)，613-618頁中描述了這種光刻膠組合物。更具體的是，所述期刊論文中描述了氟化降冰片烯型聚合物的用途和大量具有脂族或芳環(huán)結(jié)構(gòu)的溶解抑制劑。所述論文描述了用在光刻膠技術(shù)中工作波長為157nm(目前采用氟受激準分子激光器得...
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