技術編號：5088556
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。硅片檢測裝置，包括傳輸機構和檢查機構，檢查機構包括檢查控制器、感應器及至少一個吹氣檢查部，檢查控制器與感應器及吹氣檢查部信號連接，感應器用于感應硅片是否到位，吹氣檢查部位于傳輸機構的上方，與傳輸機構相對設置。本實用新型實現(xiàn)了對硅片隱裂缺陷的檢測，解決了現(xiàn)有的硅片分選機難以檢測隱裂硅片的問題。本實用新型可同時檢測硅片是否破碎或存在隱裂，并將破碎或隱裂的硅片分揀出來，不僅提高了檢測質量，而且提高了檢測效率。本實用新型結構簡單緊湊，使用方便。專利說明娃片檢測裝置...
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