硅片檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】硅片檢測(cè)裝置，包括傳輸機(jī)構(gòu)和檢查機(jī)構(gòu)，檢查機(jī)構(gòu)包括檢查控制器、感應(yīng)器及至少一個(gè)吹氣檢查部，檢查控制器與感應(yīng)器及吹氣檢查部信號(hào)連接，感應(yīng)器用于感應(yīng)硅片是否到位，吹氣檢查部位于傳輸機(jī)構(gòu)的上方，與傳輸機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅片隱裂缺陷的檢測(cè)，解決了現(xiàn)有的硅片分選機(jī)難以檢測(cè)隱裂硅片的問(wèn)題。本實(shí)用新型可同時(shí)檢測(cè)硅片是否破碎或存在隱裂，并將破碎或隱裂的硅片分揀出來(lái)，不僅提高了檢測(cè)質(zhì)量，而且提高了檢測(cè)效率。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，使用方便。
【專利說(shuō)明】娃片檢測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片檢測(cè)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種用于檢測(cè)隱裂的硅片檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著世界經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，現(xiàn)代化建設(shè)對(duì)高效能源需求不斷增長(zhǎng)。光伏發(fā)電作為綠色能源以及人類可持續(xù)發(fā)展的主要能源的一種，日益受到世界各國(guó)的重視并得到大力發(fā)展。單晶或多晶硅片是光伏發(fā)電的基礎(chǔ)材料，經(jīng)切片清洗之后，在包裝發(fā)貨之前需要經(jīng)過(guò)分揀，以篩選出不合格的硅片，確保產(chǎn)品重量。為節(jié)省人力成本并避免污染硅片，硅片分選機(jī)逐步應(yīng)用于生產(chǎn)線?，F(xiàn)有的硅片分選機(jī)，或采用視覺(jué)系統(tǒng)，或采用光纖感應(yīng)器，僅能從外觀上測(cè)試硅片是否為碎片，而不能發(fā)現(xiàn)硅片內(nèi)部的隱裂。具有隱裂缺陷的硅片被包裝發(fā)貨，直接影響成品的合格率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片檢測(cè)裝置，解決了現(xiàn)有的硅片分選機(jī)難以檢測(cè)隱裂硅片的問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，硅片檢測(cè)裝置，包括傳輸機(jī)構(gòu)和檢查機(jī)構(gòu)，檢查機(jī)構(gòu)包括檢查控制器、感應(yīng)器及至少一個(gè)吹氣檢查部，檢查控制器與感應(yīng)器及吹氣檢查部信號(hào)連接，吹氣檢查部位于傳輸機(jī)構(gòu)的上方，與傳輸機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置。
[0005]本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于:
[0006]檢查機(jī)構(gòu)還包括機(jī)械連接于吹氣檢查部的移動(dòng)部，檢查控制器信號(hào)連接于移動(dòng)部；移動(dòng)部包括機(jī)械連接的檢查驅(qū)動(dòng)器和檢查傳動(dòng)器，吹氣檢查部機(jī)械連接于檢查傳動(dòng)器。
[0007]吹氣檢查部包括安裝座及安裝于安裝座的多個(gè)檢查吹氣嘴，多個(gè)吹氣嘴均靠近安裝座的邊緣設(shè)置，且收尾相接構(gòu)成一個(gè)回路。
[0008]吹氣檢查部還包括位于多個(gè)檢查吹氣嘴的中心處的至少一個(gè)保持吹氣嘴。
[0009]檢查機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)并排設(shè)置的吹氣檢查部。
[0010]傳輸機(jī)構(gòu)包括相對(duì)的輸入端和輸出端，吹氣檢查部靠近輸入端，吹氣檢查部與輸出端之間設(shè)有測(cè)量機(jī)構(gòu)，測(cè)量機(jī)構(gòu)與傳輸機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置。
[0011]測(cè)量機(jī)構(gòu)包括一個(gè)測(cè)量控制器和信號(hào)連接于測(cè)量控制器的多個(gè)感測(cè)器，多個(gè)感測(cè)器并排設(shè)置。
[0012]吹氣檢查部與測(cè)量機(jī)構(gòu)之間設(shè)有導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，導(dǎo)正機(jī)構(gòu)包括分別位于傳輸機(jī)構(gòu)兩側(cè)的第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)，傳輸機(jī)構(gòu)的寬度小于娃片的邊距。
[0013]還包括信號(hào)連接于測(cè)量機(jī)構(gòu)的分揀機(jī)構(gòu)，分揀機(jī)構(gòu)包括分揀傳輸部、分揀驅(qū)動(dòng)部和分揀容器；分揀傳輸部包括傳送帶，位于傳輸機(jī)構(gòu)的延長(zhǎng)線上。
[0014]還包括人機(jī)界面，人機(jī)界面信號(hào)連接于檢查機(jī)構(gòu)的檢查控制器及測(cè)量機(jī)構(gòu)的測(cè)量控制器，且通過(guò)支架設(shè)置于傳輸機(jī)構(gòu)的輸入端。[0015]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0016]1、本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅片隱裂缺陷的檢測(cè)，解決了現(xiàn)有的硅片分選機(jī)難以檢測(cè)隱裂硅片的問(wèn)題。
[0017]2、本實(shí)用新型可同時(shí)檢測(cè)硅片是否破碎或存在隱裂，并將破碎或隱裂的硅片分揀出來(lái)，不僅提高了檢測(cè)質(zhì)量，而且提高了檢測(cè)效率。
[0018]3、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，使用方便。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是本實(shí)用新型硅片檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實(shí)用新型硅片檢測(cè)裝置的檢查機(jī)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3是使用本實(shí)用新型硅片檢測(cè)裝置檢測(cè)硅片的示意圖。
[0022]圖中，11.傳輸機(jī)構(gòu)，12.檢查機(jī)構(gòu)，13.導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，14.測(cè)量機(jī)構(gòu)，15.分揀機(jī)構(gòu)，100.硅片，110.輸入端，111.輸出端，121.感應(yīng)器，122.移動(dòng)部，123.吹氣檢查部，1230.安裝座，1231.檢查吹氣嘴，1232.保持吹氣嘴，1233.擋板，130.導(dǎo)正滑軌，131.第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)，132.第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)，133.導(dǎo)正輪，141.感測(cè)器，150.分揀傳輸部，151.分揀驅(qū)動(dòng)部，152.分揀容器，153.分揀端。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】和多個(gè)附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0024]本技術(shù)方案提供的硅片檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)硅片是否破碎或存在隱裂，并將破碎或隱裂的硅片分揀出來(lái)。參照?qǐng)D1和圖2，硅片檢測(cè)裝置包括傳輸機(jī)構(gòu)11、檢查機(jī)構(gòu)12、導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13、測(cè)量機(jī)構(gòu)14、分揀機(jī)構(gòu)15和人機(jī)界面16。檢查機(jī)構(gòu)12、導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13和測(cè)量機(jī)構(gòu)14依次設(shè)置于傳輸機(jī)構(gòu)11。分揀機(jī)構(gòu)15位于傳輸機(jī)構(gòu)11的一端。
[0025]傳輸機(jī)構(gòu)11包括傳送帶，用于傳輸待檢測(cè)的娃片。傳輸機(jī)構(gòu)11包括相對(duì)的輸入端110和輸出端111,娃片從輸入端110進(jìn)入娃片檢測(cè)裝置。傳輸機(jī)構(gòu)11的寬度小于娃片的邊距，硅片在傳輸機(jī)構(gòu)11上，兩側(cè)均突出于傳輸機(jī)構(gòu)11的邊緣。
[0026]檢查機(jī)構(gòu)12包括檢查控制器(圖未示)、感應(yīng)器121、移動(dòng)部122及至少一個(gè)吹氣檢查部123。檢查控制器與感應(yīng)器121、移動(dòng)部122及至少一個(gè)吹氣檢查部123信號(hào)連接。至少一個(gè)吹氣檢查部123與傳輸機(jī)構(gòu)11相對(duì)設(shè)置，且靠近輸入端110。至少一個(gè)吹氣檢查部123機(jī)械連接于移動(dòng)部122。感應(yīng)器121設(shè)置于至少一個(gè)吹氣檢查部123遠(yuǎn)離輸入端110的一側(cè)，用于感應(yīng)硅片是否到位。檢查控制器用于在感應(yīng)器121感應(yīng)硅片到位時(shí)控制移動(dòng)部122帶動(dòng)至少一個(gè)吹氣檢查部123與硅片同步移動(dòng)，同時(shí)使至少一個(gè)吹氣檢查部123向硅片表面吹氣。本實(shí)施例中，吹氣檢查部123的數(shù)量為兩個(gè)，且二者并排設(shè)置。移動(dòng)部122包括機(jī)械連接的檢查驅(qū)動(dòng)器和檢查傳動(dòng)器，移動(dòng)部122用于帶動(dòng)至少一個(gè)吹氣檢查部123與硅片同步移動(dòng)一段預(yù)定時(shí)間T后，返回初始位置。
[0027]吹氣檢查部123包括安裝座1230、多個(gè)檢查吹氣嘴1231和至少一個(gè)保持吹氣嘴1232。安裝座1230連接于移動(dòng)部122。多個(gè)檢查吹氣嘴1231和至少一個(gè)保持吹氣嘴1232均安裝于安裝座1230。多個(gè)檢查吹氣嘴1231均靠近安裝座1230的邊緣設(shè)置，且首尾相接構(gòu)成一個(gè)回路。多個(gè)檢查吹氣嘴1231用于向娃片吹氣,若娃片存在隱裂缺陷,將在氣流作用下碎裂。至少一個(gè)保持吹氣嘴1232位于多個(gè)檢查吹氣嘴1231的中心處。吹出的氣流主要用于將硅片保持在傳輸機(jī)構(gòu)11上。檢查吹氣嘴1231僅在吹氣檢查部123跟隨硅片移動(dòng)時(shí)吹氣，保持吹氣嘴1232在整個(gè)過(guò)程中都吹氣。本實(shí)施例中，檢查吹氣嘴1231為四個(gè)，保持吹氣嘴1232為一個(gè)，優(yōu)選地，安裝座1230具有多塊擋板1233，可將硅碎片控制在一定范圍內(nèi)。
[0028]導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13位于至少一個(gè)吹氣檢查部123及測(cè)量機(jī)構(gòu)14之間，包括導(dǎo)正滑軌130以及安裝于導(dǎo)正滑軌130且可沿導(dǎo)正滑軌130移動(dòng)的第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)131和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)132。導(dǎo)正滑軌130垂直于傳輸機(jī)構(gòu)11的傳輸方向設(shè)置于傳輸?shù)墓杵南路剑谝粚?dǎo)正結(jié)構(gòu)131和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)132分別位于傳輸機(jī)構(gòu)11的兩側(cè)，且相對(duì)于傳輸機(jī)構(gòu)11對(duì)稱。第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)131和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)132沿著導(dǎo)正滑軌130向靠近傳輸機(jī)構(gòu)11的方向同步移動(dòng)，將硅片導(dǎo)正。具體地，第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)131和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)132分別具有兩個(gè)導(dǎo)正輪133，第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)131和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)131接觸移動(dòng)的硅片時(shí)，導(dǎo)正輪133在摩擦力的作用下發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)施例中，導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13信號(hào)連接于檢查機(jī)構(gòu)12的檢查控制器，在感應(yīng)器121感應(yīng)到硅片到位起的一段預(yù)定時(shí)間T之后，啟動(dòng)導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13。當(dāng)然，導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13還可具有獨(dú)立的感應(yīng)及控制結(jié)構(gòu)，在感應(yīng)到硅片到達(dá)導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13時(shí)啟動(dòng)導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13。
[0029]測(cè)量機(jī)構(gòu)14位于至少一個(gè)吹氣檢查部123與輸出端111之間，其與傳輸機(jī)構(gòu)11相對(duì)設(shè)置，用于檢測(cè)經(jīng)過(guò)至少一個(gè)吹氣檢查部123后的硅片是否為碎片。測(cè)量機(jī)構(gòu)14包括一個(gè)測(cè)量控制器(圖未示)和信號(hào)連接于測(cè)量控制器的多個(gè)感測(cè)器141。多個(gè)感測(cè)器141并排設(shè)置，用于感測(cè)硅片多個(gè)部位的通過(guò)時(shí)間。測(cè)量控制器接收并比較多個(gè)感測(cè)器141的感測(cè)結(jié)果，若不相等則判定該硅片為碎片，若相等則判定該硅片合格。本實(shí)施例中，感測(cè)器141為光纖感測(cè)器，在感測(cè)到硅片的邊緣到達(dá)時(shí)開(kāi)始計(jì)時(shí)，直至感測(cè)到硅片的另一相對(duì)的邊緣離開(kāi)停止計(jì)時(shí)。當(dāng)然，測(cè)量機(jī)構(gòu)14還可以與檢查機(jī)構(gòu)12共用一個(gè)控制器。
[0030]分揀機(jī)構(gòu)15信號(hào)連接于測(cè)量機(jī)構(gòu)14，用于將測(cè)量機(jī)構(gòu)14判定為碎片的硅片分揀出來(lái)。分揀機(jī)構(gòu)15靠近傳輸機(jī)構(gòu)11的輸出端111，包括分揀傳輸部150、分揀驅(qū)動(dòng)部151和分揀容器152。分揀傳輸部150也為傳送帶，位于傳輸機(jī)構(gòu)11的延長(zhǎng)線上。本實(shí)施例中，分揀傳輸部150通過(guò)傳動(dòng)皮帶，與傳輸機(jī)構(gòu)11共用一個(gè)動(dòng)力裝置。分揀傳輸部150 —次僅傳輸一個(gè)娃片，具有遠(yuǎn)離傳輸機(jī)構(gòu)11的分揀端153。分揀驅(qū)動(dòng)部151機(jī)械連接于分揀端153,分揀驅(qū)動(dòng)部151可為氣缸，通過(guò)伸長(zhǎng)或收縮狀態(tài)的切換，驅(qū)動(dòng)分揀傳輸部150的端部處于與傳輸機(jī)構(gòu)11的傳輸方向相同的通過(guò)位置，或者處于與傳輸機(jī)構(gòu)11的傳輸方向成一定夾角的淘汰位置。分揀容器152位于分揀傳輸部150的分揀端153,用于收集淘汰的娃片。
[0031]人機(jī)界面16可通過(guò)支架設(shè)置于傳輸機(jī)構(gòu)11的輸入端110。人機(jī)界面16信號(hào)連接于檢查機(jī)構(gòu)12的檢查控制器及測(cè)量機(jī)構(gòu)14的測(cè)量控制器，用于供操作者進(jìn)行參數(shù)設(shè)定并實(shí)時(shí)顯示檢測(cè)執(zhí)行狀態(tài)。
[0032]本技術(shù)方案的硅片檢測(cè)裝置可作為硅片分選機(jī)的一個(gè)部分，或者單獨(dú)作為檢測(cè)硅片隱裂缺陷的裝置使用。
[0033]請(qǐng)參閱圖1至圖3，以下將以本技術(shù)方案具有兩個(gè)吹氣檢查部123的硅片檢測(cè)裝置為例，說(shuō)明該硅片檢測(cè)裝置運(yùn)行時(shí)的具體步驟:
[0034]通過(guò)人機(jī)界面16進(jìn)行檢測(cè)參數(shù)設(shè)定。
[0035]提供多個(gè)硅片100，依次自傳輸機(jī)構(gòu)11的輸入端110進(jìn)入硅片檢測(cè)裝置，并以預(yù)定速度傳輸。
[0036]檢查機(jī)構(gòu)12的兩個(gè)吹氣檢查部123均位于初始位置，感應(yīng)器121感應(yīng)到有物體時(shí)，判定硅片100到位。此時(shí)，每個(gè)吹氣檢查部123下方均有一個(gè)硅片100，此時(shí)檢查吹氣嘴1231不吹氣，保持吹氣嘴1232吹氣。檢查控制器控制移動(dòng)部122及吹氣檢查部123，使移動(dòng)部122帶動(dòng)兩個(gè)吹氣檢查部123與兩個(gè)硅片100同步移動(dòng)，同時(shí)使兩個(gè)吹氣檢查部123向兩個(gè)硅片100表面吹氣。此時(shí)，檢查吹氣嘴與保持吹氣嘴1232均吹氣，吹出的氣體為壓縮空氣，本實(shí)施例中，壓力0.3MPa。兩個(gè)吹氣檢查部123與兩個(gè)硅片100同步移動(dòng)一段預(yù)定時(shí)間T，如0.3秒后，返回初始位置，此時(shí)檢查吹氣嘴1231停止吹氣，保持吹氣嘴1232吹氣?？梢岳斫?，吹出氣體的壓力及預(yù)定時(shí)間T可根據(jù)檢測(cè)具體要求進(jìn)行設(shè)置。在該檢查過(guò)程中，發(fā)生隱裂的硅片100破碎。
[0037]隨后，硅片100被傳輸至導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13。導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13在感應(yīng)器121感應(yīng)到硅片到位起的一段預(yù)定時(shí)間T之后被啟動(dòng),若娃片100發(fā)生傾斜,將被導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13導(dǎo)正，由于導(dǎo)正輪133可轉(zhuǎn)動(dòng)，該導(dǎo)正動(dòng)作在不影響硅片100正常傳輸?shù)那闆r下進(jìn)行。
[0038]硅片100經(jīng)過(guò)測(cè)量機(jī)構(gòu)14時(shí)，多個(gè)感測(cè)器141感測(cè)硅片100的多個(gè)部位的通過(guò)時(shí)間，測(cè)量控制器進(jìn)行比較后，判定硅片100是碎片還是合格。
[0039]分揀機(jī)構(gòu)15接收測(cè)量機(jī)構(gòu)14的測(cè)量結(jié)果，若為合格，分揀驅(qū)動(dòng)部151不動(dòng)而使分揀傳輸部150處于與傳輸機(jī)構(gòu)11的傳輸方向相同的通過(guò)位置,順利將娃片100輸出。若為碎片，分揀驅(qū)動(dòng)部151收縮，分揀傳輸部150翻轉(zhuǎn)，從而分揀傳輸部150處于與傳輸機(jī)構(gòu)11的傳輸方向成一定夾角的淘汰位置，且分揀端153對(duì)準(zhǔn)分揀容器152，硅片100即落入分揀容器152。
[0040]本實(shí)用新型的硅片檢測(cè)裝置，利用檢查機(jī)構(gòu)12向待檢測(cè)的硅片100吹氣，可使隱裂的娃片100破碎并分揀出來(lái)。導(dǎo)正機(jī)構(gòu)13對(duì)娃片100的導(dǎo)正作用，可利于測(cè)量機(jī)構(gòu)14進(jìn)行測(cè)量并得到準(zhǔn)確的結(jié)果。檢查機(jī)構(gòu)12的移動(dòng)部122帶動(dòng)吹氣檢查部123與硅片同步移動(dòng)，可省去吹氣檢查部123等待硅片移動(dòng)到位的時(shí)間。此外，檢查機(jī)構(gòu)12的吹氣檢查部123為兩個(gè)，一次可檢測(cè)兩個(gè)娃片100,可進(jìn)一步提聞檢測(cè)效率。
[0041]本實(shí)用新型提供的一種硅片檢測(cè)裝置，解決了現(xiàn)有的硅片分選機(jī)難以檢測(cè)隱裂硅片的問(wèn)題，利用檢查機(jī)構(gòu)向待檢測(cè)的硅片吹氣，可使隱裂的硅片破碎并分揀出來(lái)，且檢測(cè)效率高。
【權(quán)利要求】
1.硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，包括傳輸機(jī)構(gòu)(11)和檢查機(jī)構(gòu)(12)，所述檢查機(jī)構(gòu)(12)包括檢查控制器、感應(yīng)器(121)及至少一個(gè)吹氣檢查部(123)，所述檢查控制器與感應(yīng)器(121)及吹氣檢查部(123)信號(hào)連接，所述吹氣檢查部(123)位于傳輸機(jī)構(gòu)(11)的上方，與傳輸機(jī)構(gòu)(11)相對(duì)設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢查機(jī)構(gòu)(12)還包括機(jī)械連接于所述吹氣檢查部(123)的移動(dòng)部(122)，所述檢查控制器信號(hào)連接于所述移動(dòng)部(122)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述吹氣檢查部(123)包括安裝座(1230)及安裝于所述安裝座(1230)的多個(gè)檢查吹氣嘴(1231)，所述多個(gè)吹氣嘴(1231)均靠近所述安裝座(1230)的邊緣設(shè)置，且收尾相接構(gòu)成一個(gè)回路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述吹氣檢查部(123)還包括位于所述多個(gè)檢查吹氣嘴(1231)的中心處的至少一個(gè)保持吹氣嘴(1232)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢查機(jī)構(gòu)(12)包括兩個(gè)并排設(shè)置的吹氣檢查部(123)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述傳輸機(jī)構(gòu)(11)包括相對(duì)的輸入端(110)和輸出端(111)，所述吹氣檢查部(123)靠近所述輸入端(110)，所述吹氣檢查部(123)與輸出端(111)之間設(shè)有測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)與所述傳輸機(jī)構(gòu)(11)相對(duì)設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)包括一個(gè)測(cè)量控制器和信號(hào)連接于所述測(cè)量控制器的多個(gè)感測(cè)器(141)，所述多個(gè)感測(cè)器(141)并排設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述吹氣檢查部(123)與所述測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)之間設(shè)有導(dǎo)正機(jī)構(gòu)(13),所述導(dǎo)正機(jī)構(gòu)(13)包括分別位于所述傳輸機(jī)構(gòu)(11)兩側(cè)的第一導(dǎo)正結(jié)構(gòu)(131)和第二導(dǎo)正結(jié)構(gòu)(132),所述傳輸機(jī)構(gòu)(11)的寬度小于所述硅片的邊距。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括信號(hào)連接于所述測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)的分揀機(jī)構(gòu)(15),所述分揀機(jī)構(gòu)(15)包括分揀傳輸部(150)、分揀驅(qū)動(dòng)部(151)和分揀容器(152);所述分揀傳輸部(150)包括傳送帶，位于傳輸機(jī)構(gòu)(11)的延長(zhǎng)線上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括人機(jī)界面(16)，所述人機(jī)界面(16)信號(hào)連接于檢查機(jī)構(gòu)(12)的檢查控制器及測(cè)量機(jī)構(gòu)(14)的測(cè)量控制器，且通過(guò)支架設(shè)置于傳輸機(jī)構(gòu)(11)的輸入端(I 10)。
【文檔編號(hào)】B07C5/34GK203648868SQ201320882540
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】邢建龍, 吳亞兵, 劉銅強(qiáng), 吳彤, 張治國(guó) 申請(qǐng)人:西安隆基硅材料股份有限公司