技術(shù)編號：5052094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是有關(guān)于在含氪、氙等的高附加價值氣體的氣體混合物中分離回收高附加價值氣體的方法，更具體地說，是在主要含有高附加價值氣體和氮的氣體混合物中，利用壓力變動吸附分離工藝，以濃縮分離回收高附加價值氣體，并將之循環(huán)再利用的氣體分離方法及裝置。在此等離子體處理中，使惰性氣體流通至氮氣環(huán)境的處理室內(nèi)并利用高頻率放電產(chǎn)生等離子體之后，于取出基板時，是以氮氣凈化處理室。關(guān)于此種處理所使用的惰性氣體，公知技術(shù)雖使用氬氣，但近年為了進行更高度的處理，氪及氙便成為焦點。氪和...
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