技術(shù)編號：5037849
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體材料制備輔助設(shè)備，尤其涉及一種石墨件除塵裝置。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體材料的制備過程中，需要使用大量的石墨件，石墨件可以作為重錘或者籽晶夾頭、掛鉤進(jìn)行使用，眾所周知，由于石墨件的生產(chǎn)制造過程以及靜電吸附作用，無可避免，會在石墨件表面形成大量的石墨粉塵以及其他雜質(zhì)，這些粉塵微粒以及其他雜質(zhì)的存在不僅對人體造成很大的傷害，而且，其落入硅熔體中也會對產(chǎn)品質(zhì)量造成很大的影響。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以有效去除石墨件表面雜質(zhì)的石墨...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。