技術(shù)編號:5017669
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是有關(guān)于一種廢氣洗滌系統(tǒng),尤指一種進(jìn)氣裝置及洗滌塔本體為玻璃纖維材質(zhì)一體成型制造的廢氣洗滌系統(tǒng)。背景技術(shù)按,一般半導(dǎo)體工藝所產(chǎn)生的廢氣,主要來自于元件的蝕刻、摻雜質(zhì)以及集成電路板的酸洗作業(yè)等,而其所產(chǎn)生的有毒物質(zhì)必須經(jīng)過適當(dāng)處里才可將廢氣及廢水排放,以避免違法污染了周遭環(huán)境。而公知的廢氣洗滌系統(tǒng),例如臺灣公告第546159號專利,其公開一種洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)及方法,該系統(tǒng)里提供一種軟水裝置,用以除去洗滌液中所含的鈣離子及鎂離子,使在洗滌液酸堿值控...
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