專利名稱：廢氣洗滌系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)于一種廢氣洗滌系統(tǒng)，尤指一種進(jìn)氣裝置及洗滌塔本體為玻璃纖維材質(zhì)一體成型制造的廢氣洗滌系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
按，一般半導(dǎo)體工藝所產(chǎn)生的廢氣，主要來自于元件的蝕刻、摻雜質(zhì)以及集成電路板的酸洗作業(yè)等，而其所產(chǎn)生的有毒物質(zhì)必須經(jīng)過適當(dāng)處里才可將廢氣及廢水排放，以避免違法污染了周遭環(huán)境。
而公知的廢氣洗滌系統(tǒng)，例如臺灣公告第546159號專利，其公開一種洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)里提供一種軟水裝置，用以除去洗滌液中所含的鈣離子及鎂離子，使在洗滌液酸堿值控制調(diào)升至10.5以上的狀況下，提高廢氣處理效率，并使洗滌塔不會結(jié)垢而可順利操作。
又例如臺灣公告第395293號專利，其公開一種廢氣洗滌塔結(jié)構(gòu)，該洗滌塔結(jié)構(gòu)具有兩層次的水浴供應(yīng)源進(jìn)行噴灑，以全面進(jìn)行廢棄的水浴處理，可有效提高氣水混合度，成功地執(zhí)行清潔廢氣的作業(yè)。以上兩者皆為處理半導(dǎo)體生產(chǎn)過程所產(chǎn)生的廢氣所設(shè)計，惟一般發(fā)光二極管晶元工藝所產(chǎn)生的廢氣例如磷化氫(Phosphine)及砷化三氫(Arsine)等及有毒物質(zhì)例如砷化鈉或磷化鈉等與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程所產(chǎn)生的廢氣及有毒物質(zhì)不盡相同，因此，上述專利的廢氣洗滌塔結(jié)構(gòu)并不適用于處理發(fā)光二極管晶元工藝所產(chǎn)生廢氣及有毒物質(zhì)。
請參照圖1，其顯示公知適用于處理發(fā)光二極管工藝所產(chǎn)生廢氣及有毒物質(zhì)的廢氣洗滌系統(tǒng)的示意圖。如圖所示，公知的廢氣洗滌系統(tǒng)其具有一進(jìn)氣裝置60、一溫水灑水裝置65、一洗滌液供給裝置70、一沉淀槽75、一泵80、一化學(xué)藥劑注入裝置85及兩個洗滌塔90；生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的磷化氫(Phosphine)及砷化三氫(Arsine)等廢氣經(jīng)過與漂白水、液堿及磷酸進(jìn)行反應(yīng)后再經(jīng)由三道洗滌液洗滌后，合于標(biāo)準(zhǔn)的廢氣經(jīng)由排氣口91排出，廢水再經(jīng)由排水口76排出。惟上述廢氣洗滌系統(tǒng)具有下列缺點1.其本體基材是以PVC(聚氯乙烯)材質(zhì)材料制造，但是在長時間的化學(xué)溶液、磷、溫度種種因素侵蝕下，呈現(xiàn)脆化的現(xiàn)象，其中尤以管路71最為明顯；2.其本體是由PVC板材組合焊接而成，外部再以可強化本體的FRP(玻璃纖維)素材加以包覆而成，然因為兩種材質(zhì)不同，無法真正完全黏合，所以在本體有外接管路71的部分，在管路71材質(zhì)發(fā)生脆化情況下，一旦產(chǎn)生液漏即使有被包覆的部分還是無法阻止其液漏；3.其溫水灑水裝置65裝設(shè)的角度無法有效清除進(jìn)氣裝置60中的沉積磷，以致管路71容易被磷所阻塞，且因磷的自燃點甚低，于拆除進(jìn)氣裝置進(jìn)行保養(yǎng)時易發(fā)生自燃的危險等缺點。
實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的在于提供一種廢氣洗滌系統(tǒng)，其本體則采用FRP強化材質(zhì)，開模制造，可免除PVC液漏后所包覆的FRP無法阻絕的缺點。
本實用新型的主要目的在于提供一種廢氣洗滌系統(tǒng)，其具有一溫水灑水裝置且設(shè)置于廢氣進(jìn)入管的對面?zhèn)?，可輕易清除管路中的沉積磷，以避免拆除進(jìn)氣裝置進(jìn)行保養(yǎng)時易磷發(fā)生自燃的危險。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的廢氣洗滌系統(tǒng)，其包括一洗滌液供給裝置，其包括至少一管路及一循環(huán)泵，用以供給洗滌液；一溫水灑水裝置，用以供給溫水；至少一進(jìn)氣裝置，為一三通裝置且其可分別連接至一廢氣進(jìn)入管、該洗滌液供給裝置及該溫水灑水裝置，以便廢氣可進(jìn)入該進(jìn)氣裝置中且與洗滌液進(jìn)行降溫與氣水混合程序；一沉淀槽，置于該進(jìn)氣裝置的下方，可接收該進(jìn)氣裝置所排出的廢氣及洗滌液，其上方具有一藥劑注入口，用以供注入化學(xué)藥劑于該沉淀槽中，側(cè)方則具一排水口，以便與該洗滌液進(jìn)行酸堿中和；以及至少一洗滌塔，置于該沉淀槽的上方，其具有一濾水裝置、一洗滌液噴灑裝置及一排氣口，其中該洗滌液噴灑裝置經(jīng)由該管線連接至該洗滌液供給裝置，其可噴灑洗滌液，而該濾水裝置則可過濾洗滌液以增加廢氣與洗滌液的作用時間，并將過濾后的氣體經(jīng)由該排氣口排放。
其中該廢氣進(jìn)入管可供磷化氫、砷化三氫及制程氮氣等廢氣進(jìn)入。
其中該洗滌液可為自來水或冷凝水。
其中該溫水灑水裝置是裝置于該廢氣進(jìn)入管的對面?zhèn)?，以達(dá)到易于清洗進(jìn)氣裝置中沉積磷的目的。
其中該沉淀槽中進(jìn)一步具有至少一酸堿值量測計，用以量測沉淀槽中廢水的酸堿值。
其中該化學(xué)藥劑為漂白水、液堿或磷酸。
其中該濾水裝置進(jìn)一包括至少一拉希環(huán)。
其中該進(jìn)氣裝置為聚氯乙烯材質(zhì)，且其數(shù)量為三個。
其中該洗滌塔為玻璃纖維材質(zhì)一體成型，且其數(shù)量為兩個并可提供三道洗滌程序。


圖1為一示意圖，其顯示公知適用于處理發(fā)光二極管工藝所產(chǎn)生廢氣及有毒物質(zhì)的廢氣洗滌系統(tǒng)的示意圖。
圖2為一示意圖，其顯示本實用新型的廢氣洗滌系統(tǒng)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為能進(jìn)一步了解本實用新型的結(jié)構(gòu)、特征及其目的，以附圖及較佳具體實施例的詳細(xì)說明如后。
請參照圖2，其顯示本實用新型的廢氣洗滌系統(tǒng)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本實用新型的廢氣洗滌系統(tǒng)包括洗滌液供給裝置10；溫水灑水裝置20；至少一進(jìn)氣裝置30；沉淀槽40；以及至少一洗滌塔50所組合而成。
其中，該洗滌液供給裝置10，其包括至少一管路11及一循環(huán)泵12。該管路11可連接至該進(jìn)氣裝置30、沉淀槽40以及洗滌塔50，以便由該循環(huán)泵12的作用供給洗滌液至該進(jìn)氣裝置30、沉淀槽40以及洗滌塔50中進(jìn)行冷卻及氣水混合的作用；其中，該洗滌液可為自來水或冷凝水。
該溫水灑水裝置20，用以供給溫水至該進(jìn)氣裝置30中，由溫水可容易清除進(jìn)氣裝置30中沉積的磷。本實用新型的溫水灑水裝置20設(shè)置于廢氣進(jìn)入管31的對面?zhèn)龋绱丝蛇_(dá)到最大的清洗角度，以達(dá)到易于清洗進(jìn)氣裝置30的進(jìn)氣口中沉積磷的目的。
該進(jìn)氣裝置30，為一三通裝置且其可分別連接至一廢氣進(jìn)入管31、該洗滌液供給裝置10及該溫水灑水裝置20，以便磷化氫(Phosphine)、砷化三氫(Arsine)及工藝氮氣等廢氣可進(jìn)入該進(jìn)氣裝置30中且與管路11所提供的洗滌液進(jìn)行降溫與氣水混合程序。在本實施例中，該進(jìn)氣裝置30的數(shù)量例如但不限于為3個，每一個進(jìn)氣裝置30可單獨的與廢氣進(jìn)入管31、該洗滌液供給裝置10及該溫水灑水裝置20連接，并于處理后分別將廢氣及廢水輸出至沉淀槽40中，如此多管并行的目的可避免公知廢氣洗滌系統(tǒng)只具有一個進(jìn)氣裝置30，當(dāng)其因為磷自燃而受損后即無法再運作的缺點。
該沉淀槽40，置于該進(jìn)氣裝置30的下方，可接收該進(jìn)氣裝置30所排出的廢氣及洗滌液，其上方具有一藥劑注入口41，用以供注入化學(xué)藥劑于該沉淀槽40中，以便該化學(xué)藥劑與磷化氫、砷化三氫及工藝氮氣等廢氣進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。其中該化學(xué)藥劑可為漂白水(NaOCl)、液堿(NaOH)或磷酸(H3PO4)，其依序被注入該沉淀槽40中可與磷化氫、砷化三氫及工藝氮氣起化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生磷化鈉(Na3PO4)及砷化鈉(H3PO4)等有毒的化學(xué)物質(zhì)沉積于該沉淀槽40中(此為公知技術(shù)，在此不擬贅述)，而反應(yīng)后所產(chǎn)生無害的廢氣則輸出至洗滌塔50進(jìn)行后續(xù)處理。此外，該沉淀槽40的側(cè)方具一排水口42，以便進(jìn)行排水。此外，該沉淀槽40中進(jìn)一步具有至少一酸堿值量測計43，用以量測沉淀槽40中廢水的酸堿值。
該洗滌塔50，置于該沉淀槽40的上方，其數(shù)量例如但不限于兩個，其進(jìn)一步具有一洗滌液噴灑裝置51、一濾水裝置52及一排氣口53。其中該洗滌液噴灑裝置51經(jīng)由該管線11連接至該洗滌液供給裝置10，其可噴灑洗滌液至該洗滌塔50內(nèi)部，而該濾水裝置52置于該洗滌液噴灑裝置51的下方，其包括至少一拉希環(huán)521，其可過濾洗滌液以增加廢氣與洗滌液的作用時間，并將過濾后的氣體經(jīng)由該排氣口53排放至下一個洗滌塔50中再進(jìn)行一次廢氣洗滌及冷卻處理，并于處理后將廢氣經(jīng)由該排氣口53排出。其中，該洗滌塔50是以玻璃纖維(FRP)材質(zhì)以一體成型方法所制造。
綜上所述，本實用新型廢氣洗滌系統(tǒng)，其具有本體采用FRP強化材質(zhì)，開模制造，可免除PVC液漏后所包覆的FRP無法阻絕的缺點。此外其溫水灑水裝置是設(shè)置于廢氣進(jìn)入管的封面?zhèn)?，可輕易清除管路中的沉積磷，以避免拆除進(jìn)氣裝置進(jìn)行保養(yǎng)時易磷發(fā)生自燃的危險等優(yōu)點，確可改善公知廢氣洗滌系統(tǒng)的缺點。
本實用新型所描述的乃較佳實施例，舉凡局部的變更或修飾而源于本案的技術(shù)思想而為熟習(xí)該技藝的人所易于推知的，俱不脫本實用新型的專利權(quán)范疇。
權(quán)利要求1.一種廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，至少包括一洗滌液供給裝置，其包括至少一管路及一循環(huán)泵，用以供給洗滌液；一溫水灑水裝置，用以供給溫水；至少一進(jìn)氣裝置，為一三通裝置且其可分別連接至一廢氣進(jìn)入管、該洗滌液供給裝置及該溫水灑水裝置，以便廢氣可進(jìn)入該進(jìn)氣裝置中且與洗滌液進(jìn)行降溫與氣水混合程序；一沉淀槽，置于該進(jìn)氣裝置的下方，可接收該進(jìn)氣裝置所排出的廢氣及洗滌液，其上方具有一藥劑注入口，用以供注入化學(xué)藥劑于該沉淀槽中，側(cè)方則具一排水口，以便與該洗滌液進(jìn)行酸堿中和；以及至少一洗滌塔，置于該沉淀槽的上方，其具有一濾水裝置、一洗滌液噴灑裝置及一排氣口，其中該洗滌液噴灑裝置經(jīng)由該管線連接至該洗滌液供給裝置，其可噴灑洗滌液，而該濾水裝置則可過濾洗滌液以增加廢氣與洗滌液的作用時間，并將過濾后的氣體經(jīng)由該排氣口排放。
2.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該廢氣進(jìn)入管可供磷化氫、砷化三氫及制程氮氣等廢氣進(jìn)入。
3.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該洗滌液可為自來水或冷凝水。
4.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該溫水灑水裝置是裝置于該廢氣進(jìn)入管的對面?zhèn)龋赃_(dá)到易于清洗進(jìn)氣裝置中沉積磷的目的。
5.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該沉淀槽中進(jìn)一步具有至少一酸堿值量測計，用以量測沉淀槽中廢水的酸堿值。
6.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該化學(xué)藥劑為漂白水、液堿或磷酸。
7.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該濾水裝置進(jìn)一包括至少一拉希環(huán)。
8.如權(quán)利要求7所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該進(jìn)氣裝置為聚氯乙烯材質(zhì)，且其數(shù)量為三個。
9.如權(quán)利要求1所述的廢氣洗滌系統(tǒng)，其特征在于，其中該洗滌塔為玻璃纖維材質(zhì)一體成型，且其數(shù)量為兩個并可提供三道洗滌程序。
專利摘要本實用新型是一種廢氣洗滌系統(tǒng)，其包括一洗滌液供給裝置，其包括至少一管路及一循環(huán)泵；溫水灑水裝置；至少一進(jìn)氣裝置，廢氣可進(jìn)入該進(jìn)氣裝置中且與洗滌液進(jìn)行降溫與氣水混合程序；沉淀槽，可接收該進(jìn)氣裝置所排出的廢氣及洗滌液，以便與該洗滌液進(jìn)行酸堿中和；以及至少一洗滌塔，置于該沉淀槽上方，其具有一濾水裝置、一洗滌液噴灑裝置及一排氣口，其中該洗滌液噴灑裝置經(jīng)由該管線連接至該洗滌液供給裝置，其可噴灑洗滌液，而該濾水裝置則可過濾洗滌液以增加廢氣與洗滌液的作用時間，并將過濾后的氣體經(jīng)由該排氣口排放。
文檔編號B01D53/78GK2759573SQ20052000260
公開日2006年2月22日 申請日期2005年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月6日
發(fā)明者陳翊揚 申請人:陳翊揚