技術編號：4997713
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種應用于多晶硅冷氫化工藝的文丘里洗滌器。背景技術目前，主流的多晶氫化工藝中分為熱氫化工藝及冷氫化工藝，冷氫化工藝因其較熱氫化工藝能耗更低而具有更廣闊的發(fā)展空間。但冷氫化工藝作為一個較新的工藝，其工藝過程的實現(xiàn)使得反應氣中夾帶有細微硅粉，如果不對硅粉進行處理會堵塞、磨損后續(xù)設備及管道，為此需要在降低反應氣的溫度的同時除去反應氣中夾帶的細微硅粉，但現(xiàn)有的除塵單元中文丘里洗滌器無法滿足要求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的是提供一種冷氫化工藝用低阻文丘里洗滌器，其...
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