技術(shù)編號：4995857
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及對作為雜質(zhì)至少含有氧、氫、一氧化碳、烴、油分和氮的氬氣進行提純的方法及裝置。背景技術(shù)在例如硅單晶提拉爐、陶瓷燒結(jié)爐、煉鋼用真空脫氣設(shè)備、太陽能電池用硅等離子體熔化裝置、多晶硅鑄造爐這類設(shè)備中，氬氣被用作爐內(nèi)氣氛氣 體等。為了再利用而從這類設(shè)備回收的氬氣因混入氫、一氧化碳、空氣等而純度下降。因此，為了提高所回收的氬氣的純度，實施使雜質(zhì)被吸附劑吸附的處理。還有，為了高效地進行這種雜質(zhì)吸附，提出了使雜質(zhì)中的氧與可燃成分進行反應(yīng)以使其轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水作...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。