技術(shù)編號：4990303
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，該方法是對貯藏在精制槽內(nèi)的含有1種以上比作為主成分的液化氣的易揮發(fā)性更高的雜質(zhì)成分的原料液化氣進(jìn)行精制，將精制后的液化氣供給至供給目標(biāo)。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體制造工藝等中常用的液化氣，例如要求純度99. 999(Vol% )以上的高純度，但以往在用于使液化氣高純度化的精制中進(jìn)行如下所述的精制操作，即，在液化氣制造工廠采用多級精餾或各種吸附劑等來進(jìn)行雜質(zhì)除去。此外，隨著近年來的晶片的大口徑化和生產(chǎn)量的增大，液化氣的使用量增加，其結(jié)果是，例如半導(dǎo)體...
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