技術(shù)編號:4990053
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種鉬族金屬負(fù)載催化劑,其被應(yīng)用于發(fā)電站用水及半導(dǎo)體制造等中的精密加工洗滌用水,用以去除超純水中的過氧化氫、溶解氧之類的氧化性物質(zhì)。背景技術(shù)已知發(fā)電站中使用的用水中的溶解氧會引起配管、熱交換器等構(gòu)件的腐蝕,尤其是在原子力發(fā)電站的一次系統(tǒng)及二次系統(tǒng)中,需要盡可能地減少溶解氧。另外,在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中,使用經(jīng)高度去除雜質(zhì)后的超純水進(jìn)行硅晶圓的洗滌等。通常,利用下述方法制造超純水并將該制造的超純水供給到進(jìn)行晶圓洗滌的使用點(diǎn),所述制造超純水的方法包括在前...
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