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分子拓印材料、其制造方法及磷化氫的檢測方法技術資料下載

技術編號:4977348

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本發(fā)明是有關于分子拓印材料,且特別是有關于一種以含磷分子做為模板的分子 拓印材料,其可用于當作氣體偵測器的感測組件。背景技術隨著科技不斷的進步,許多新型的關鍵技術成為高科技業(yè)的發(fā)展重點,其中高科 技廠房微污染監(jiān)控技術已被列為未來產(chǎn)業(yè)競爭的關鍵技術之一。國際半導體技術藍圖委員會(International Technology Roadmap forSemiconductors ;ITRS)預估至 2010 年芯片關鍵尺寸(critical dimensio...
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