技術(shù)編號(hào)：4974388
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)本發(fā)明涉及通過除去酸性化合物、一氧化碳、二氧化碳、惰性化合物及其組合來純 化四氟化硅氣體的方法，更具體地，本發(fā)明涉及通過使用離子交換樹脂除去酸性化合物、通 過使用包含惰性基材表面上或接近惰性基材表面處的催化金屬氧化物的催化劑除去一氧 化碳、通過使用包含至少一種二醇二醚的吸收液除去二氧化碳、通過使用低溫蒸餾工藝除 去惰性氣體、及其組合。多晶硅是許多商品的重要組分，包括例如集成電路和光電(即太陽能)電池。多 晶硅通常通過化學(xué)氣相沉積機(jī)理制備，其中在流化...
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