技術編號:4970302
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種浸入式擴散裝置,其中要被處理的材料(或研磨基質)包含有固體顆粒和處理液體,通過使用擴散介質,該材料被很好地磨削并擴散到處理液體中。特別是,本發(fā)明涉及一種浸入式擴散裝置,其中擴散介質包含在擴散腔中,并且該擴散腔浸入到用于擴散處理的要被處理的材料中。已知有多種類型的浸入式擴散裝置,其中包括擴散介質的擴散腔浸入到箱體中并且有一套系統(tǒng)進行擴散處理。例如,在JP-B-59-46665(JP-A-58-174230)、JP-B-62-16687(JP-A...
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