技術(shù)編號：4952496
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使氯硅烷液體在填充有弱堿性陰離子交換樹脂作為歧化反應(yīng)催化劑的催化劑填充層中流通、使其進行歧化而制造歧化了的氯硅烷的方法。更具體而言，涉及在上述氯硅烷的制造中、防止反應(yīng)開始時的上述歧化反應(yīng)催化劑的劣化、效率良好地通過歧化而制造氯硅烷的方法。背景技術(shù)作為用作半導(dǎo)體等的電子材料、有機硅樹脂的原料的、一氯硅烷、二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅等的，已知有利用歧化反應(yīng)的方法。例如，提案有使用由堿性陰離子交換樹脂構(gòu)成的歧化反應(yīng)催化劑而由三氯硅烷制造二氯硅烷、或由...
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