技術(shù)編號(hào)：4919615
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在液相中由一氯硅烷和氨制備三甲硅烷基胺的特殊方法。本發(fā)明還涉及可有利施行這種方法的設(shè)備。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及在液相中。本發(fā)明還涉及可施行這種方法的設(shè)備。[0002]三甲硅烷基胺(TSA)，N(SiH3)3，是易流動(dòng)、無(wú)色、可自燃和易水解的液體，其具有-105.6°C的熔點(diǎn)和+52°C的沸點(diǎn)。含氮的硅化合物如三甲硅烷基胺是半導(dǎo)體工業(yè)中重要的物質(zhì)。[0003]長(zhǎng)期以來(lái)已知TSA可用于制造氮化硅-層(US 4，200，666，JP 1986-...
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