技術(shù)編號(hào):4874616
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,更特別的是涉及生產(chǎn)具有高純度的過(guò)氧化氫水溶液的方法,該方法能以達(dá)ppt數(shù)量級(jí)(1/1012)的精度(accuracy)除去過(guò)氧化氫水溶液中所含的氧化硅雜質(zhì)。過(guò)氧化氫水溶液廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域,例如,作為紙張或紙漿的漂白劑和化學(xué)拋光液的組分。近年來(lái),過(guò)氧化氫在電子工業(yè)中的應(yīng)用日益增長(zhǎng),例如作為硅片的清潔劑和半導(dǎo)體生產(chǎn)方法的清潔劑。因此,過(guò)氧化氫需要通過(guò)大量減少過(guò)氧化氫水溶液中的各種雜質(zhì),來(lái)實(shí)現(xiàn)非常高的純度。一般說(shuō)來(lái),目前過(guò)氧化氫是幾乎無(wú)一例外的通過(guò)...
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